ウエハ製造における圧縮空気の役割

ウエハ製造において、圧縮空気は非常に重要な役割を果たしており、その役割は複数の重要なプロセスを貫通している。具体的には以下の通りである

一、精密な機械運動を駆動し、フォトリソグラフィの精度を保障する

ステッパでは、圧縮空気がシリンダとエアモータを駆動し、シャッター制御機構、レンズ位置決めと調整装置などの精密な機械部品の迅速で正確な動作を実現する。 このような安定した動力出力は、スケール精度のリソグラフィ操作でリソグラフィ機の位置決めが正確であることを保証し、チップパターンの転写精度を保障している。

二、ガス流量を精確に制御し、エッチング効果を最適化する。

エッチング中、圧縮空気はガス輸送システムのバルブを駆動し、エッチングガスの流量と圧力を正確に制御する。 この精密な制御はエッチング速度と均一性を保証し、ウエハの特定領域を正確にエッチングし、複雑なチップ構造を形成できる。

三、反応ガスの均一な分布を促進し、フィルムの品質を向上させる

化学気相成長 (CVD) 設備では、圧縮空気が反応ガスを反応室内に均一に分布させる。 この均一な分布はウエハ表面に高品質な薄膜を堆積するために安定したプロセス条件を提供し、チップの性能と信頼性を高めるのに役立つ。

四、自動化ロボットアームを駆動し、効率的な搬送を実現する。

ウエハ工場内の自動化ロボットアームは、圧縮空気を動力源として広く使用し、ウエハ、キャリア、その他の材料の迅速なグリップ、搬送、正確な位置決めを実現している。 ロボットアームのエアハンドは、圧縮空気の充填によって、物体へのつかみと緩みを実現します。 その迅速な応答と精確な制御能力はウエハ工場の効率的な生産の需要を満たした。

五、軌道伝送システムの運行を推進し、生産効率を高める

軌道式の資材輸送システムでは、圧縮空気が輸送担体を軌道上で運転させ、ウエハをある加工ステーションから次のステーションに迅速かつスムーズに輸送する。 この伝送方式は生産効率を高め、人工的な介入を減らし、ウエハが汚染されるリスクを低減した。

六、ウエハ表面を清潔にし、清浄度を確保する

ウエハ加工の各段階で、微小な粒子汚染物はチップの性能と歩留まりに影響する可能性がある。 厳格な濾過と乾燥処理を経た圧縮空気は、特製のエアノズルやスプレーガンを通じて、高速気流でウエハ表面を吹き飛ばし、ほこりや屑などの不純物を効果的に除去し、ウエハ表面の清浄度を確保する。

七、設備内部を清潔にし、寿命を延ばす

定期的に圧縮空気を使用して生産設備の内部をパージし、設備の運転中に蓄積したほこり、粉末、その他の汚染物を取り除くことができる。 この洗浄方式は不純物が設備の性能と安定性に与える悪影響を防止し、設備の寿命を延ばした。

八、正圧換気システムを維持し、外部汚染を防止する。

外部汚染物がクリーン生産区域に入らないように、ウエハ工場のクリーンルームは通常陽圧換気システムを採用している。 圧縮空気はクリーンルームに送られ、室内の圧力を外部環境より高くし、空気の障壁を形成する。 この障壁はほこり、微生物などの汚染物の侵入を阻止し、クリーンルーム内の高い標準的なクリーン環境を維持した。