大白话,半导体生产中,氮气是起到什么作用?

　　半导体厂里用氮气，说白了就干四件事。

　　第一件事是当保镖。芯片在高温下加工的时候特别容易被氧气氧化，一氧化就废了。氮气是个惰性气体，性格很稳，不爱跟别的东西发生反应，所以把氮气充进去，就相当于给芯片穿了一层保护衣，氧气进不来，芯片就不会被烧坏。

　　第二件事是当清洁工。半导体车间里到处都是肉眼看不见的灰尘和水汽，这些东西落到芯片上就是灾难。氮气从管道里一吹，把腔体和管路里的脏东西全部带走，保证芯片在一个干干净净的环境里生产。

　　第三件事是当搬运工。芯片在不同工序之间传送的时候，不能直接暴露在空气里，要用氮气包裹着送过去，就像给芯片套了个气囊，既防碰又防脏。

　　第四件事是当空调。有些工艺会产生大量热量，氮气吹过去能帮着把热带走，让温度保持稳定。

　　那氮气从哪来呢。半导体厂一般自己配一台制氮机，把空气里的氮气分离出来。而制氮机的原料就是压缩空气，所以前面必须接一台空压机给它供气。

　　这个空压机就很讲究了。因为制氮机对进气的品质要求极高，空气里哪怕有一丁点油，都会堵在制氮机的分子筛里，导致氮气纯度下降，直接影响芯片良品率。所以这台空压机必须是无油的。

　　现在很多半导体厂会选水润滑无油螺杆空压机来干这活。它的工作方式很简单，机器内部单螺杆和星轮片转动来压缩空气，不是用油来减少摩擦，而是用水。水在里面一边润滑螺杆一边把压缩产生的热量带走，出来的空气里完全不含油。因为不用油，也就不用换油不用处理废油，排出来的冷凝水就是干净的水，管路里不会积油泥。这样送进制氮机的空气是真正干净的，出来的氮气纯度才有保障。

　　简单说，氮气在半导体厂里就是保镖加清洁工加搬运工加空调，而水润滑无油螺杆空压机就是给制氮机提供干净原料的那个源头，源头不干净，后面全白搭。