2026-06-10阅读量：
半导体厂里用氮气，说白了就干四件事。
第一件事是当保镖。芯片在高温下加工的时候特别容易被氧气氧化，一氧化就废了。氮气是个惰性气体，性格很稳，不爱跟别的东西发生反应，所以把氮气充进去，就相当于给芯片穿了一层保护衣，氧气进不来，芯片就不会被烧坏。
第二件事是当清洁工。半导体车间里到处都是肉眼看不见的灰尘和水汽，这些东西落到芯片上就是灾难。氮气从管道里一吹，把腔体和管路里的脏东西全部带走，保证芯片在一个干干净净的环境里生产。
第三件事是当搬运工。芯片在不同工序之间传送的时候，不能直接暴露在空气里，要用氮气包裹着送过去，就像给芯片套了个气囊，既防碰又防脏。
第四件事是当空调。有些工艺会产生大量热量，氮气吹过去能帮着把热带走，让温度保持稳定。
那氮气从哪来呢。半导体厂一般自己配一台制氮机，把空气里的氮气分离出来。而制氮机的原料就是压缩空气，所以前面必须接一台空压机给它供气。
这个空压机就很讲究了。因为制氮机对进气的品质要求极高，空气里哪怕有一丁点油，都会堵在制氮机的分子筛里，导致氮气纯度下降，直接影响芯片良品率。所以这台空压机必须是无油的。
现在很多半导体厂会选水润滑无油螺杆空压机来干这活。它的工作方式很简单，机器内部单螺杆和星轮片转动来压缩空气，不是用油来减少摩擦，而是用水。水在里面一边润滑螺杆一边把压缩产生的热量带走，出来的空气里完全不含油。因为不用油，也就不用换油不用处理废油，排出来的冷凝水就是干净的水，管路里不会积油泥。这样送进制氮机的空气是真正干净的，出来的氮气纯度才有保障。
简单说，氮气在半导体厂里就是保镖加清洁工加搬运工加空调，而水润滑无油螺杆空压机就是给制氮机提供干净原料的那个源头，源头不干净，后面全白搭。
干式无油还是水润滑无油，答案都是不需要加油。但两者的区别在于，干式无油完全靠机械精度硬扛，水润滑无油是用水来帮忙，后者在长期使用中稳定性和维护便利性上更有优势。
电厂空压机房系统就是整个电厂的空气动力中心，从仪表控制到输灰、冷却、检修、安全，处处都离不开它。而水润滑无油螺杆空压机因为出来的空气干净无油、维护省心，在对空气品质要求高的仪用气和关键控制环节里，已经成了很多电厂的主流选择。
喷油型空压机不仅要排水还要排油，维护负担重。水润滑无油螺杆空压机只需要排水，排出来的是干净的水，维护简单得多。如果你现在用的是喷油机，排水这件事千万别偷懒。
食品级压缩空气输送方案的思路就是：用水润滑无油螺杆空压机从源头保证空气无油，再用干燥加多级过滤把水和杂质去掉，最后用食品级不锈钢管道干净利落地送到每一个用气点。整个链条里只要有一个环节出问题，空气品质就会打折，所以每个环节都不能省。
水润滑空压机因为从源头杜绝了油污染，效率高、维护少、配合后处理设备效果好，正在成为半导体行业越来越主流的供气选择。空气干净了，芯片才能干净，产品才能合格。
含油量低于0.01毫克每立方米的空压机，就可以被叫做无油空压机。这个数值换一种说法就是0.01ppm，也就是百万分之零点零一，可以说是少到几乎可以忽略不计了。
螺杆式空压机，每立方米的压缩气体里面，含油量大约在三到五毫克左右。这个数值虽然看起来很小，但如果用气量很大，日积月累下来，管道和用气设备里面还是会积攒不少油分。
螺杆空压机实现出气无油效果，关键在于用水润滑技术替代传统润滑油，从源头上杜绝油分进入压缩空气。水润滑螺杆空压机实现了真正的“出气无油”，为对空气质量要求极高的行业提供了可靠解决方案。
2018 格兰克林集团 版权所有 沪ICP备18000439号-2
