电子半导体 压缩空气颗粒物要求

在电子半导体行业，压缩空气的颗粒物要求极为严格，通常要求每立方米空气中大于等于0.1微米的颗粒数不超过3520个（百级洁净室标准），部分高端工艺甚至要求达到ISO 1级标准，即每立方米空气中大于等于0.1微米的颗粒数不超过10个。以下是对电子半导体行业压缩空气颗粒物要求的详细分析：

一、颗粒物污染对电子半导体生产的影响

• 产品缺陷：微小的颗粒物污染可能导致半导体产品表面出现缺陷，如电路短路、性能不稳定等，进而影响产品的良率和可靠性。
• 设备损坏：颗粒物还可能进入半导体生产设备内部，造成设备磨损、堵塞或故障，增加维护成本和停机时间。

二、电子半导体行业对压缩空气颗粒物的具体要求

• 颗粒物浓度：通常要求每立方米空气中大于等于0.1微米的颗粒数不超过3520个（百级洁净室标准）。这一标准旨在确保生产环境的洁净度，防止颗粒物对半导体产品造成污染。
• 高端工艺要求：对于部分高端工艺，如EUV光刻等纳米级工艺，对压缩空气的颗粒物要求更为严格，需达到ISO 1级标准，即每立方米空气中大于等于0.1微米的颗粒数不超过10个。

三、实现低颗粒物浓度的措施

• 多级过滤系统：采用多级过滤系统，包括粗过滤器、精过滤器等，以去除压缩空气中的颗粒物。这些过滤器能够捕获不同粒径的颗粒物，确保压缩空气的洁净度。
• 高效过滤器（HEPA/ULPA）：在关键工艺区域，如光刻间、刻蚀间等，需使用高效过滤器（HEPA/ULPA）对压缩空气进行进一步净化。这些过滤器对大于等于0.3微米的颗粒物过滤效率可达99.97%以上。
• 定期更换过滤器：为确保过滤器的性能稳定可靠，需定期更换过滤器。一般来说，HEPA过滤器的更换周期不超过1年，ULPA过滤器的更换周期不超过6个月。

四、相关标准与认证

• ISO 14644-1标准：该标准定义了洁净室的空气洁净度等级划分，为电子半导体行业提供了洁净度控制的依据。
• ISO 8573-1标准：该标准定义了压缩空气的质量等级，包括颗粒物、湿度和油分等污染物的控制要求。电子半导体行业需遵循该标准，确保压缩空气的质量符合生产要求。