半导体制造 洁净度要求

半导体制造工艺对压缩空气的洁净度要求极为严苛，其核心在于控制气体中的颗粒物、油分及水分等污染物含量，以确保精密器件在生产过程中不受污染。格兰克林水润滑单螺杆空气压缩机凭借技术创新，可有效满足这一领域的洁净度需求，具体特性如下：

1. 半导体制造对压缩空气的洁净度核心要求
半导体生产涉及光刻、蚀刻、薄膜沉积等高精度环节，压缩空气需达到以下标准：

• 颗粒物控制：气体中微小颗粒（如0.1μm以上）的数量需被严格限制，避免附着在芯片表面影响电路精度；
• 油分零容忍：传统油润滑空压机可能残留微量油分，而半导体工艺要求压缩空气完全无油，防止污染敏感材料；
• 水分极低：湿度过高可能导致材料氧化或工艺缺陷，需通过干燥处理确保气体露点达标。

2. 格兰克林空压机的洁净度保障技术
格兰克林水润滑单螺杆空气压缩机采用单螺杆与星轮片组合的压缩结构，结合水介质密封技术，从设计源头上避免了油类物质的参与，同时通过以下方式提升洁净度：

• 无油压缩设计：压缩过程无需润滑油，彻底消除油分混入风险，确保气体纯净；
• 水介质密封与润滑：以水替代油作为密封与润滑介质，水分子可随气体排出，不会残留固体杂质，同时水介质本身具备清洁特性，进一步减少颗粒物产生；
• 高效过滤协同：设备配备多级精密过滤系统，可针对性去除压缩过程中可能产生的微量水雾或极细颗粒，确保输出气体符合半导体工艺的洁净度标准。

3. 格兰克林技术的实际应用优势
在半导体制造场景中，格兰克林空压机通过上述技术特性，可实现以下价值：

• 工艺稳定性提升：洁净压缩空气保障精密设备的稳定运行，避免因污染物导致的良率下降；
• 设备寿命延长：无油设计减少管道与用气设备的油污沉积，降低维护频率与成本；
• 质量控制强化：从气源端杜绝污染风险，助力半导体企业满足严格的质量管理体系要求。

综上，格兰克林水润滑单螺杆空气压缩机通过无油压缩、水介质密封及高效过滤等技术，为半导体制造提供了高洁净度的压缩空气解决方案，助力行业实现精密生产与质量控制目标。具体配置需结合实际工况与需求进行专业评估。