半导体制造压缩空气质量标准是多少

2023-05-15阅读量:

  国际上主要采用的半导体空压系统标准包括以下几个:

  ISO 8573-1-2010:这是由国际标准化组织(ISO)发布的一份标准,规定了空气质量的各个等级,以及检测方法和限制值等。

  GB/T 2819-2011:这是中国国家标准化管理委员会发布的一份标准,规定了压缩空气、氮气和惰性气体的品质指标、检测方法和限制值等。

  SEMI S2-0715:这是美国半导体设备与材料国际协会(SEMI)发布的一项标准,要求半导体设备必须符合人身安全、环境保护和设备性能等方面的规定。

  SEMI S6-0715:这也是SEMI发布的一项标准,要求半导体设备必须符合电气安全、机械安全和防火防爆等方面的规定。

更多推荐

  • 2023-07-03

    芯片行业对于空压机的需求

      空压机是一种广泛应用于工业生产中的机械设备,其作用是将空气压缩成高压气体,以供工业生产中的各种需要使用。而在半导体行业中,空压机也扮演着非常重要的角色。本文将介绍

    查看详情
  • 2023-05-11

    半导体行业对压缩空气的要求

      通常来讲,半导体是一种材料,硅是其中最主要的元素,还包括锗、砷化镓、碳化硅等。将半导体材料经过一系列的工艺加工制成集成电路,继而被用在各式我们熟知的电子设备上。像电

    查看详情
  • 2023-04-07

    半导体压缩空气质量标准

      半导体空压系统是在半导体生产和研发过程中使用的重要设备之一,其能够为半导体制造过程提供高质量、稳定的气体供应。目前,国际上主要采用的半导体空压系统标准包括以下几

    查看详情
  • 2023-01-31

    压缩空气在半导体中的作用

      压缩空气在芯片制造过程中的作用是非常重要的,因为在芯片制造的过程中会产生一些气泡,而压缩空气就能很好的将这些气泡排出使得芯片更加的薄,并且芯片的质量更加的轻。  

    查看详情
  • 2022-10-17

    半导体哪些工艺需要空压机

      半导体行业是属于电子信息产业,也是硬件产业,主要是以半导体为基础的。关于半导体生产方面也是非常注重的,在选用变频螺杆空压机也是有一定标准的。  很多半导体行业采购

    查看详情
  • 2022-09-22

    半导体行业选择微油空压机还是无油空压机

      如果你确定了压缩机的大小和类型,但还有一个问题是选用油润滑还是无油空气压缩机。关于这个问题你的选择应该基于压缩空气的应用工艺。  我需要无油压缩机吗?  选择

    查看详情