半导体行业对压缩空气的要求

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  通常来讲,半导体是一种材料,硅是其中最主要的元素,还包括锗、砷化镓、碳化硅等。将半导体材料经过一系列的工艺加工制成集成电路,继而被用在各式我们熟知的电子设备上。像电视、电脑、手机等与日常活动息息相关的电子设备,都离不开半导体的“鼎力相助”。随着电子设备的需求呈指数级增长,半导体元件的生产也在加快节奏。而在半导体生产中有着极为关键作用的压缩空气被大量需用。

  集成电路是电子设备中极为精密的部分,一粒微小的灰尘或将造成整个电路的失效。举例来说,当电路板处于初始制造过程中时,微元件被放置在晶圆/电路板上。此时,这些组件不会相互连接,随后要使用压缩空气将焊料嵌入(挤压)到电路板上的微观孔中,而如果压缩空气存在油污,就会对造价高昂的半导体元件造成损害。

  因此其生产过程需要高度专业的技术和严苛洁净的环境。使用0级无油的压缩空气,不仅是封闭生产环境的高纯度保证,也将促进生产力提升,减少因污染而造成的生产损失。

  半导体制造业通用用气品质要求如下:

  1.含油要求 0.00ppm

  2.含尘要求 0.01μm

  3.露点要求 -40℃至-70­°C(PDP)

  4.排气压力 0.8-0.85MPa

  主要用气点如下:

  1、仪表用气

  气动元件、精密仪表

  2、空分用气

  工艺保护用气(制氮机)

  3、工艺用气

  吹扫、清洗、冷却、划片、外延、刻蚀与沉积、离子注入

  分选、测试、封装、装配、包装、运输和搬运、污水处理

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