2026-06-05읽기:
반도체 제조에서 압축 공기의 품질 표준은 매우 엄격하며 청결, 화학적 순도 및 안정성의 요구 사항을 동시에 충족해야합니다. 다음은 주요 매개 변수와 기본 기준입니다.
SEMI F58-0701: 가스 및 액체의 순도를 명시하고, 총 황 함량은 0.1 ppm 이하이어야하며 실록산 오염은 없습니다.
SEMI C1.3: 웨이퍼 이송 시스템의 경우 압축 공기는 고효율 필터 (HEPA 등급) 를 통과합니다.
| 매개 변수 | 반도체 산업 표준 | 탐지 방법 |
|---|---|---|
| 오일 함량 | ≤ 0.01 mg/m & sup3;(ISO 8573-1 클래스 0) | 적외선 분광법 (FTIR) |
| 미립자 물질 | ≤ 0.1μm(ISO 14644-1 클래스 5) | 레이저 입자 카운터 |
| 이슬점 온도 | ≤-40 ° C (일부 프로세스의 경우 ≤-70 ° C) | 거울 응축 이슬점 미터 |
| 총 황 함량 | ≤ 0.1 ppm | 화염 광도 검출 (FPD) |
| 미생물 통제 | ≤ 1 CFU/m & sup3;(일부 클린 룸에 필요) | 충격 유형 미생물 샘플러 |
| 화학 잔류물 | 실록산, 염화물 이온, 중금속 무료 | 가스 크로마토그래피-질량 분석법 (GC-MS) |
압축 공기를 사용할 때 양압 환기 시스템은 ISO 14644-1 클래스 5 청결을 준수해야합니다.
오일 프리 공기 압축기: 기름 오염을 피하기 위해 물 윤활 또는 PTFE 코팅 기술을 채택하십시오.
다단계 여과: 활성탄 필터 (오일 증기) 의 구성, 초정밀 필터 (0.01μm 등급).
파이프라인 처리: 전해 광택 스테인레스 스틸 파이프 (Ra≤ 0.4 μm), 용접 된 연결을 사용하여 누출을 줄입니다.
실시간 모니터링: 이슬점 센서, 기름 증기 탐지기를 설치하면 데이터를 추적 할 수 있습니다 (FDA 21 CFR Part 11 에 따라).
제 3 자 테스트: 규정 준수 보고서는 기관 (예: SGS, TÜV) 에 의해 발행됩니다.
주기적 검증오일 함량, 이슬점 및 미립자 물질의 분기 별 탐지, 연간 전체 분석.
반도체 압축 공기 표준은 장비 선택, 시스템 설계 및 운영 및 유지 보수의 전체 프로세스를 거쳐야하며, 그 엄격함은 공정 오염을 피하고 우수한 제품 속도를 보장하도록 설계되었습니다. 프로세스 노드가 진행함에 따라 (예를 들어, 3nm 미만), 미래에 나노스케일 입자 및 새로운 화학 오염물질에 대해 더 높은 요건이 있을 수 있다.
공기 압축기 시장에서 전력 주파수와 주파수 변환 스크류 공기 압축기의 비교는 결코 멈추지 않았으므로 전력 주파수 및 주파수 변환 스크류 공기 압축기가 더 좋습니까? 주파수 변환 스크류 공기 압축기에 대한 좋은 점은 무엇입니까? 삽입: 전력 주파수 및 주파수 변환 스크류 공기 압축기의 주요 영역
물 윤활 공기 압축기 및 건조 오일이없는 공기 압축기에는 고유 한 장점과 적용 가능한 시나리오가 있으므로 더 나은 것을 일반화하는 것은 불가능합니다. 다음은 두 가지를 비교 한 것입니다: 물 윤활 공기 압축기: 장점: 윤활 및 냉각을위한 순수한 물의 사용, 압축 가스를 보장합니다.
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Q: 스크류 공기 압축기 오일이 좋거나 기름이 좋지 않습니까? A: 그들 자신을 위해 최고입니다. 물론 스크류 공기 압축기의 가스 오일 함량으로 판단하면 오일이없는 공기 압축기가 좋지만 생산시 오일이없는 공기 압축기보다 가격이 훨씬 높습니다.
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