半导体厂供气压力一般是多少

在半导体厂中，供气压力因气体类型和工艺环节的不同而有所差异，具体如下：

一、压缩空气供气压力

1. 一般范围：在多数半导体制造车间，压缩空气管道的设计压力通常取0.8MPa，以确保稳定供气并满足设备的动力需求。实际运行中，压缩空气压力会根据具体工艺需求进行调整，例如光刻区需要稳定柔和的气流，压力约为0.5-0.7MPa；蚀刻区要求短促有力的脉冲，压力范围在0.7-1.0MPa；封装区则类似长笛的持续平稳供气，压力约为0.4-0.6MPa。
2. 特殊要求：对于高精度工艺，如EUV光刻，压缩空气系统需集成无油螺杆压缩机和PTFE薄膜过滤器（0.01μm），实现水、油、颗粒零含量（ISO 8573-1 Class 0），同时压力需稳定在特定范围以防止空气弹簧及光学元件失效。

二、氮气供气压力

1. 一般范围：在多数半导体制造工艺中，如光刻、蚀刻、沉积等，氮气的进气压力通常维持在0.62至0.76MPa（即6.2至7.6kg/cm²）之间。这一范围能够满足大部分工艺对氮气压力的需求，确保工艺的稳定性和产品质量。

2. 特殊工艺需求：

   • 晶圆氮气烘烤：氮气压力需精确控制，例如调节至0.03至0.05MPa，以避免压力过大导致危险。
   • 化学气相刻蚀腔室：氮气压力可稳定在1500至2500毫托（即1.5至2.5Torr，约合0.2至0.33MPa），以确保刻蚀过程的精准性和一致性。

3. 可调压力范围：部分氮气供应系统支持0-0.8MPa的可调压力，以适应不同工艺环节的需求。

三、其他特种气体供气压力

1. 硅烷（SiH₄）气体管道：工作压力一般控制在0.2-0.5MPa，以降低泄漏风险并保障生产安全。
2. 氯化氢（HCl）气体管道：工作压力多在0.1-0.3MPa，防止因压力过高导致管道腐蚀加剧以及泄漏引发安全事故。