半導体圧縮空気処理によく見られる問題と処理案

半導体生産は圧縮空気の清浄度に対する要求が非常に高く、わずかなほこり、オイルミスト、水蒸気でもチップを廃棄できる。 だから、半導体工場では、圧縮空気の処理はリングに合った大きな工事であるが、実際の運行では常に様々なトラブルに遭遇する。 よくある問題と対応する処理方法を一つ一つはっきりと説明する。

1つ目のよくある問題は、圧縮空気中に油が入っていることです。 従来のエアコンプレッサは油で潤滑と温度を下げるため、運転中に微量のオイルミストが空気に混入することは避けられない。 半導体プロセスは油分に敏感で、油膜がチップ表面に付着すると回路がショートしたり、製品の性能に問題がある。 解決策は源から油を取り除くことである。 この時、水潤滑コンプレッサーは非常に有利で、伝統的な潤滑油の代わりに水で圧縮と密封を完成し、圧縮された空気自体にオイルミストとオイル蒸気がない最初から油汚染のリスクを断ち切った。 現場に従来のオイルコンプレッサーが設置されている場合は、後に多段ろ過と活性炭吸着装置を設置し、油分を一階一階で遮断しなければならないが、メンテナンスコストはかなり高くなる。

2つ目のよくある問題は空気中の水分が多すぎることです。 圧縮空気は圧迫される過程で温度が上昇し、冷却されると水蒸気が小さな水玉になり、すぐに処理しないと水玉が配管に溜まってしまう錆設備は製品の品質にも影響する。 処理方法はコンプレッサの後ろに乾燥設備を接続し、まず冷凍方式で水分の大部分を凝縮し、吸着式乾燥機で残りの微量水分をさらに吸引する空気の乾燥度を半導体プロセスに必要なレベルにする。 特に注意が必要なのは、水潤滑コンプレッサーを使うと、圧縮中に空気が運ぶ水蒸気自体が普通のコンプレッサーよりも多いので、乾燥設備の処理能力はもっと余裕がある後端の排水ももっと勤勉で、システムに水分がたまるほど多くならないようにしなければならない。

3つ目のよくある問題は空気中に細かい粒子があることです。 肉眼では見えない微塵でも、チップに落ちて欠陥を引き起こす可能性がある。 解決策は、複数のフィルタレベルを設置し、粗フィルタから精フィルタまで、末端の超精密フィルタまで、ふるいのように1層が1層より細く、異なる大きさの粒子を1つずつ止めることである。 水潤滑コンプレッサーはこの面でもメリットがあります。油を使わないと、スラッジや金属屑が空気中に混入しないので、二次汚染の可能性が減少しますフィルタシステムの負担を軽くする。

4つ目のよくある問題は、配管に水が溜まって腐食することです。 空気中に残っている水分はパイプの低いところでゆっくりと水になって、時間が経つとパイプの内壁が錆びて、サビの破片がまた気流に運ばれて、悪循環を形成します。 処理方法は配管敷設時に一定の傾斜角度を保ち、水が自然に排出口に流れ、低点に自動排水弁を装着したときに水を排出する。 配管が温度変化の大きいところを歩いている場合は、配管を保温し、温度差による水蒸気の凝縮を防ぐ。 水潤滑コンプレッサーが関与しているシステムは、初期の水分量が高いため、このステップはもっとおろそかにできない。

5つ目のよくある問題は、ストレスが不安定であるか、ストレスが不足していることです。 半導体設備は工程によって空気量が大きくなったり小さくなったりして、コンプレッサーが反応しないと、パイプの末端の圧力が高くなったり低くなったりして、設備が動かなくなったりする。 解決策は、システムに十分な大きさのガスタンクを緩衝し、ガスがピークになったときにガスタンクがガスを放出して補充し、ガスが谷になったときにゆっくりと充電することである。 同時に管路の設計は合理的で、できるだけ環状のレイアウトで、直線ではなく、エルボが少なく、管径が合って、不必要な圧力損失を減らす。

6つ目のよくある問題は管路漏洩である。 継手が締め付けられていない、シールリングが劣化している、配管が振動で磨かれている、圧縮空気が無駄に逃げて、電気を無駄にして供給に影響を与える。 処理方法は定期的に検査手段で漏れ点を調査し、問題を発見したらすぐに部品を締めたり交換したりして、古い配管は交換しなければならない。

総じて言えば、半導体の圧縮空気処理の核心は三つのことです。 水潤滑コンプレッサーは圧縮源から油の問題を解決したと同時に、スラッジや金属屑が発生しないため、間接的に粒子汚染のリスクを低減したクリーンチェーン全体をより簡単に、より信頼性のあるものにします。 設備を選択し、管路を完成し、メンテナンスしさえすれば、圧縮空気は正直に半導体生産の厳しい要求を満たすことができる。