電子業界の洗浄の一環で、圧縮空気は満足する必要があります。超低含油量 (≦ 0.003mg/sup3;)、極低粒子汚染 (粒径 ≧ 0.1m m粒子数<1000個/m & sup3;) を参照してください、深さ乾燥 (圧力露点 ≦-70 ℃ 、さらには-100 ℃)の核心基準は、油分、粒子または水蒸気汚染による製品の欠陥を避けるためである。 以下、応用シーン、設備選定、後処理システム、安全リスクの4つの次元から分析を展開する
一、応用シーンと品質要求
- ウエハークリーニング
- ウエハ表面は絶対に清潔でなければならず、ミクロンオーダーの粒子や油分汚染はフォトリソグラフィ欠陥 (線路短絡、開放など) を引き起こす。
- 圧縮空気はISO 8573-1 Class 0級(含油量 ≦ 0.003mg/m & sup3;) 、圧力露点 ≦-70 ℃ で、水蒸気酸化銅、アルミニウムなどの精密線路を防止する。
- Pcbボードクリーニング
- レーザー切断、ドリルなどの工程では、圧縮空気は残渣をパージするために使用されます。 油や粒子が含まれていると、回路基板の表面を汚染し、絶縁不良や短絡を引き起こす。
- 満たす必要がある含塵粒子 ≦ 1m m、含油量 ≦ 0.01mg/m & sup3;の基準です。
- ディスプレイと光学機器の洗浄
- ディスプレイ、レンズなどの表面は高清浄度が必要で、オイルミスト汚染は光学性能の低下 (例えば、光透過率の低下、反射の増強) を招く。
- 圧縮空気は通過しなければならないナノレベルの濾過 (濾過精度 ≦ 0.01m m)を選択します。
二、設備選定: オイルフリースクリュー圧縮機を中心とする
- オイルフリー設計
- 水潤滑無油スクリュー圧縮機を採用し、油汚染リスクを徹底的に解消し、電子業界の空気清浄度に対する極端な要求を満たす。
- インテリジェントな制御とエネルギー効率の最適化
- インテリジェント制御システムを内蔵し、生産需要に応じて運転状態 (負荷率、排気圧力など) を自動的に調整し、エネルギーの浪費を避ける。
- 余熱回収システムを搭載し、圧縮熱をお湯や暖房用途に変換し、エネルギー利用効率を向上させる (総合エネルギー効率を15 ~ 20% 向上させる)。
- 高信頼性設計
- 精密加工と高耐久材料 (例えばステンレスロータ、航空級アルミニウム合金ボディ) の使用により、電子業界に適応する24時間連続運転の需要は、故障率が0.5% を下回った。
三、後処理システム: 多段浄化保障品質
- プレフィルタ
- インストールプレフィルター (フィルター精度5m m)、大きな粒子の不純物を遮断し、後続の設備の寿命を延ばす。
- 精密ろ過
- 採用高効率精密フィルター (フィルター精度0.01m m)、さらに微小粒子を除去し、空気清浄度を確保する。
- 深乾燥
- 設定吸着式乾燥機 (露点 ≦-70 ℃)、モレキュラーシーブによって水蒸気を吸着し、低温凍結による排気系または酸化金属ラインの閉塞を防止する。
- オンライン監視
- インストールペレットカウンター、露点計、含油量測定器、圧縮空気の品質をリアルタイムで監視し、データが異常な時に自動的に警報し、停止する。
四、安全リスクとコントロール措置
- 高圧気流傷害
- リスク: 圧縮空気の圧力が高すぎる (例えば> 0.7MPa) 場合、気流は皮膚を突き破ったり、血流に入ったりして、気泡遮断 (血栓のような) を形成し、組織が壊死する可能性がある。
- コントロール:
- インストール圧力調整弁、出口圧力を0.4-0.6MPa。
- オペレーター着用保護メガネ、切断防止手袋、気流が直接皮膚や目に触れないようにする。
- 粒子汚染がはね返る
- リスク: 後処理設備のメンテナンスが不適切 (フィルターがタイムリーに交換されていない場合) は、粒子汚染が反発し、製品を汚染する可能性がある。
- コントロール:
- 制定定期メンテナンス計画(例えば、2000時間ごとにフィルターを交換し、5000時間ごとに乾燥機の分子篩を洗浄する)。
- 作成圧縮空気品質ファイル露点、含油量、粒子数などのデータを記録し、汚染源を追跡する。
- 設備故障停止
- リスク: エアコンプレッサの故障は生産ライン全体の停止を招く可能性があり、1時間あたりの損失は数十万元に達する。
- コントロール:
- 設定予備コンプレッサー(「3用1备」モードのような) 、故障时にすばやく切り换えることを保证します。
- インストールAIインテリジェント監視システム、設備の振動、温度、圧力などのパラメータをリアルタイムで監視し、故障を早めに警告する。
