半導体設備圧縮空気工場業務要求

半導体設備の圧縮空気工場の要求はチップの製造精度と製品の歩留まりを保障する核心要素であり、ガスの清浄度、乾燥度、安定性及びシステムの信頼性の四つの面から厳格な基準を構築する必要があります。

1.ガス清浄度制御
半導体生産は油分汚染を容認せず、圧縮空気は「無油クリーン」基準を満たす必要がある。 水潤滑単軸圧縮技術により、伝統的な潤滑油の代わりに純水を使用し、源から油汚染リスクを根絶する。 多段精密ろ過システムと協力して、0.01μm以上の粒子状物質を効果的に除去して、ガス中の固体不純物の含有量が0.001mg/m & sup3を下回ることを確保することができる半導体クリーンルームのガス需要を完全に満たす。

2.乾燥度の深さの保障
圧縮空気は水蒸気含有量を超低露点レベルに制御する必要がある。 吸着式乾燥装置と冷凍式乾燥機の組み合わせ案を採用することで、ガス圧力露点を-70 ℃ 以下に安定的に下げることができ、配管内壁の凝縮水が精密設備に腐食を与えたり、短絡のリスクを引き起こすことを避けることができる。 露点センサーをセットしてリアルタイムで監視し、乾燥度の継続的な基準を確保する。

3.圧力安定性要求
半導体機器は圧縮空気の圧力変動に敏感で、圧力変動を ± 0.01MPaの範囲に抑える必要がある。 タンクと知能圧力調節弁を配置することで、使用ガスのピーク変動を緩衝することができるインバータ制御技術を採用して、圧縮機の出力圧力をリアルタイムで端末の需要に合わせて、圧力が高すぎることが設備に衝撃を与えないようにする。

4.システム信頼性設計

• 配管材質は316Lステンレスを選び、電解研磨処理を行い、金属イオンの沈殿汚染を避ける。
• 重要なノードは、二重圧縮機の並列運転、二重電源供給などの冗長バックアップを配置し、連続的なガス供給を確保する。
• オンライン監視システムを設置し、ガスの含油量、露点、圧力などのパラメータをリアルタイムでフィードバックし、異常状況を自動的に警報し、予備設備を起動する。

グランクリル水潤滑単軸圧縮機の応用価値
単軸と星輪片の精密な噛み合い技術によって、水潤滑媒体の天然洗浄特性に合わせて、半導体業界に持続的に安定した高品質の圧縮空気を提供します。 その無油化設計は油汚染リスクを解消し、知能制御システムは出力圧力を正確に調節し、深乾燥装置と高効率ろ過システムに合わせて、完全なクリーン空気ソリューションを構築することができるチップ製造に信頼できるガス動力保障を提供する。