半導体業界は精密製造の代表として、エアコンプレッサに対する要求が極めて厳しく、超純ガス供給、極端な安定性、低汚染排出、インテリジェントな規制などの核心的な需要を満たす必要がある。 技術的なパフォーマンス、システム統合、運用メンテナンスの3つの次元から専門的な解析を行います
一、技術性能要求
- ガス品質管理
- 含油量: ≦ 0.001mg/m & sup3を達成する必要がある (ISO 8573-1 Class 0規格) 油分がウエハ表面を汚染しないようにする。
- 含塵量: 0.1m mの粒径まで濾過し、粒子状物質によるリソグラフィの欠陥を防止する必要がある。
- 湿度コントロール圧力露点は ≦-40 ℃ で、水蒸気が真空室内で凝縮しないようにします。
- 圧力と流量の安定性
- 圧力変動は ± 0.01MPa以内に抑えなければならず、エアバルブ、ロボットの正確な動作を保障する。
- 流量調整範囲は30 ~ 100% の負荷をカバーし、異なるプロセスモジュールのガス需要に対応する必要がある。
- 振動と騒音の制御
- 設備の振動速度は1mm/s以下で、彫刻機などの精密設備に微振動干渉を避ける必要がある。
- 騒音は ≦ 65dB(A) で、クリーンルーム環境の要求を満たす。
二、システムインテグレーション要求
- クリーンルームの互換性
- 設備ケースは304ステンレス鋼または陽極酸化アルミニウムの材質を採用し、表面粗さ ≦ 0.8m mで、粒子状物質の脱落を防止する。
- 高効率エアフィルタ (HEPA) を配置し、 ≧ 0.3 m粒子の濾過効率 ≧ 99.97% である。
- 管路システム設計
- 配管は316Lステンレス電解研磨管を採用し、内壁粗さ ≦ 0.4 mで、粒子の付着を減らす。
- 自動排水システムを配置し、凝縮水の蓄積によるガス汚染を避ける必要がある。
- スマートモニタリング機能
- モノネットワークモジュールを統合し、圧力、温度、流量などのパラメータの遠隔監視を実現する必要がある。
- 故障警報機能を備え、フィルタの詰まり、モータの過熱などの危険性を24時間早く予測できる。
三、運行メンテナンス要求
- 消耗品の寿命管理
- エアエレメントの交換周期は4000時間以上、油分芯は8000時間以上 (オイルレスは交換不要)。
- 潤滑油の交換サイクルは10000時間以上かかります。
- メンテナンス利便性設計
- 交換時間 ≦ 5分の速開式フィルタを配置する必要があります。
- 可視化メンテナンスインタフェースを提供し、フィルタ寿命、運転時間などの重要な情報を表示する必要がある。
- 緊急対応能力
- 待機機インターフェイスを配置し、2機のホットスペアを実現する必要があり、故障切替時間は30秒以下である。
- UPS電源を搭載して、電源が切れたときに設備が安全に停止するようにする必要があります。
典型的な応用シーン
- ウエハークリーニング: 超純窒素ガスを提供する必要があり、圧力は ≧ 0.6MPa、流量は ≧ 10m & sup3;/min。
- ステッパエア軸受: 安定した圧力のガス源を提供する必要があり、圧力変動は ≦ ± 0.005MPaである。
- 化学気相成長 (CVD): 高純度アルゴンガスを提供する必要があり、酸素含有量は ≦ 1ppmである。
技術価値のまとめ
半導体業界の空気圧縮機は通過しなければならない超純ガス処理技術、精密圧力制御システム、インテリジェント監視プラットフォームなどの核心技術を実現します。クリーン、安定、スマートのガス供給保障。 その価値はウエハの歩留まりを高め、設備の寿命を延ばすだけでなく、信頼できるガス供給システムを構築することで、リソグラフィ、エッチングなどのコアプロセスの安定性を保障することである半導体企業が効率的な生産と品質管理の二重目標を実現するのを助ける。
