半導体圧縮空気品質基準

半導体空圧システムは半導体の生産と研究開発の過程で使用される重要な設備の一つで、半導体の製造過程に高品質で安定したガス供給を提供できる。 現在、国際的に主に採用されている半導体空圧システムの基準は以下のものを含む。

1.SEMI S2-0715: これはアメリカの半導体設備と材料国際協会 (SEMI) が発表した基準で、半導体設備は人身の安全、環境保護と設備の性能などの規定を満たさなければならない。

2.SEMI S6-0715: これもSEMIが発表した基準で、半導体設備は電気安全、機械安全、防火防爆などの規定を満たさなければならない。

3.ISO 8573-1-2010: これは国際標準化機構 (ISO) が発表した基準で、空気の質の各等級、検査方法と制限値などを規定している。

4.GB/T 2819-2011: これは中国国家標準化管理委員会が発表した基準である圧縮空気、窒素ガスと不活性ガスの品質指標、測定方法と制限値などを規定した。

以上の基準はすべて半導体空圧システムが守らなければならない基本的な要求で、半導体生産中の設備の安全、性能の安定、ガス品質の信頼性を確保するのに役立つ。