マイクロ電子パッケージ圧縮空気指標要求

マイクロ電子パッケージは圧縮空気の品質に厳しい要求があり、主に以下のいくつかの方面を含む

粒子状物質濃度: マイクロ電子製品の精度が非常に高いため、微小な粒子汚染は製品の故障を招く可能性がある。 そのため、圧縮空気中の粒子状物質濃度は非常に低くなければならない。通常、粒子状物質濃度は100個/立方フィート以下で、生産環境の清浄度と製品の品質を確保する必要がある。

湿度制御: 湿度がマイクロエレクトロニクス製品に与える影響も大きく、高すぎる湿度は製品の湿気、腐食などの問題を引き起こす可能性がある。 そのため、マイクロ電子パッケージ中の圧縮空気は湿度を厳しくコントロールしなければならず、通常は相対湿度が50% 未満で、製品が水分の影響を受けないようにしなければならない。

圧力と流量: マイクロ電子パッケージの過程で圧縮空気の圧力と流量にも特定の要求がある。 一般的な圧力需要は0.7Mpa程度であるが、具体的な需要は異なるプロセス手順や設備によって変化する可能性がある。

露点温度: 圧縮空気の露点温度も重要な指標である。 マイクロ電子パッケージでは、パッケージ中に凝縮水が形成されて製品が破損するのを防ぐために、圧縮空気の圧力露点が高い可能性があります。

これらの厳しい要求を満たすために、マイクロ電子業界は通常、オイルフリースクリュー式圧縮機や他の効率的な空気圧縮設備を選択して、高品質、清潔、乾燥した圧縮空気を提供する。 また、圧縮空気をさらに浄化し、マイクロ電子パッケージの高い基準を満たすために、様々なフィルタと乾燥器を備えています。

全体的に、マイクロ電子パッケージは圧縮空気に対して多方面の厳しい要求があり、製品の品質と信頼性を確保している。 圧縮空気システムを選択して使用するときは、これらの要求を十分に考慮し、適切な措置を講じて満足させなければならない。