반도체 공장의 압축 공기 청결

반도체 제조에서 압축 공기의 청결은 칩 생산의 수율과 제품 신뢰성을 직접 결정하며 핵심 요구 사항은 다음과 같이 요약 할 수 있으며 물 윤활 공기 압축기의 기술적 특성과 결합하여 설명합니다.

1. 청결 핵심 요구 사항

1. 미립자 물질 제어
   반도체 공정은 마이크론 및 서브 마이크론 입자에 매우 민감합니다. 예를 들어, 3 나노미터 공정에서, 0.01 미크론 먼지 입자는 트랜지스터를 짧게 할 수 있다. 따라서 압축 공기 중 입자 농도는 엄격하게 제한되어야하며 일반적으로 공기 입방 미터당 0.1 미크론 이상의 입자 10,000 개 이하가 필요합니다 (일부 고정밀 공정은 덜 필요합니다).

2. 기름 오염 없음
   오일은 웨이퍼 표면에 흡착되어 칩의 전기적 특성에 영향을 미치고 장비를 부식시킵니다. 반도체 산업은 압축 공기가 완전히 오일이없는 것을 요구하며 총 오일 함량은 매우 낮은 수준 (일반적으로 0.01 mg/m3 미만) 으로 제어해야하며 일부 프로세스에는 "제로 오일" 표준이 필요합니다.

3. 낮은 수분 함량
   수분은 장비의 부식, 포토레지스트 성능의 저하, 또는 물질의 산화를 유발할 수 있다. 압축 공기의 이슬점 온도는 일반적으로-40 ℃ 이하로 제어해야하며 일부 장면은 수분 함량이 매우 낮음을 보장하기 위해-70 ℃ 이하가 필요합니다.

2. 물 윤활 공기 압축기의 기술적인 적응성

1. 오일 프리 압축의 핵심 장점
   물 윤활 공기 압축기는 전통적인 윤활유를 순수한 물로 대체하여 압축 챔버에 동적 인 물 필름을 형성하여 오일이없는 윤활을 달성합니다. 이 기술은 공급원으로부터의 오일 오염의 위험을 피하고, 압축 공기의 청결은 "제로 오일" 에 대한 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

2. 미립자 물질 제어의 보조 효과
   물 윤활 시스템의 폐쇄 사이클 설계는 기계적 마찰에 의해 생성 된 입자를 감소시키고, 물 필름은 압축 공기의 입자 농도를 더 감소시키는 일부 불순물을 흡수 할 수있다. 다단계 여과 시스템 (예: 정밀 필터, 활성탄 필터) 을 사용하면 입자 농도가 반도체 공정 표준을 충족하는지 확인할 수 있습니다.

3. 수분 관리를위한 솔루션
   물 윤활 공기 압축기에서 배출되는 압축 공기는 미량의 수증기를 함유하고 있으며, 낮은 수분 함량에 대한 반도체 산업의 요구 사항을 충족시키기 위해 깊은 건조 시스템 (예: 흡착 건조기) 을 통해 이슬점 온도를-40 ° C 이하로 낮추어야합니다.

3. 기술 비교 및 선택 제안

1. 오일 공기 압축기와 대비
   전통적인 오일 공기 압축기에 오일 분리기가 장착되어 있더라도 오일 함량 (0.01 mg/m3 미만) 에 대한 반도체 산업의 요구 사항을 안정적으로 충족하기가 어렵습니다. 물 윤활 공기 압축기는 물리적 격리 (물 필름) 를 통해 오일 프리 압축을 달성하여 뿌리에서 오일 오염 문제를 해결합니다.

2. 건조한 기름없는 공기 압축기와 비교
   드라이 오일이없는 공기 압축기는 특수 코팅 또는 재료를 통해 오일 프리 압축을 달성하지만 코팅 수명이 제한되어 수리를 위해 정기적으로 공장으로 반환해야합니다. 물 윤활 공기 압축기는 윤활 매체로 물을 사용하고 작동 온도가 낮고 (40-60 ℃) 유지 보수가 간단하며 겨울철 부동액 수요는 시스템 설계 (예: 전기 열 추적 절연) 를 통해 해결할 수 있습니다.

3. 추천 선택

   • 물 함량에 대한 내성이 낮은 장면: 물 윤활 공기 압축기가 선호되며 비용과 성능은 깊은 건조 시스템과 균형을 이룰 수 있습니다.
   • 높은 부동액 조건이 필요한 시나리오: 작업장 환경을 평가해야합니다. 겨울철에 온도가 너무 낮 으면 부동액 설계 또는 건식 오일이없는 공기 압축기가있는 물 윤활 유형을 선택할 수 있습니다.
   • 장기 비용 고려 사항물 윤활 공기 압축기 유지 보수가 간단합니다 (오일, 오일 필터를 교체 할 필요가 없음), 장기 운영 비용이 낮습니다.

4. 시스템 매칭 및 운영 및 유지 보수의 핵심 포인트

1. 다단계 여과 및 건조
   물 윤활 공기 압축기에는 압축 공기의 미립자, 오일 및 수분 함량이 표준을 충족하는지 확인하기 위해 정밀 필터 (0.01 미크론) 및 흡착 건조기가 장착되어야합니다.

2. 실시간 모니터링 및 경보
   프로세스 오염을 피하기 위해 이슬점 센서, 오일 증기 탐지기 및 기타 장비, 압축 공기 품질 매개 변수의 실시간 피드백, 비정상적인 상황 자동 경보를 설치하십시오.

3. 파이프 재료 및 설치
   전해 연마 된 스테인레스 스틸 파이프 (표면 거칠기 ≤ 0.4 미크론) 를 사용하여 용접 된 연결은 누출 위험을 줄이고 운송 중에 압축 공기가 두 번 오염되지 않도록합니다.