압축 공기에 사용되는 리소그래피 기계는 무엇입니까?

리소그래피 기계의 압축 공기는 주로 정밀 공압 부품을 구동하고, 장비 안정성을 유지하며, 깨끗한 환경을 보장하고, 나노 규모의 작동 및 공정 안정성의 정확성을 보장하는 핵심 요소 인 온도 조절에 참여하는 데 사용됩니다. 구체적인 역할은 다음과 같습니다.

드라이브 정밀 공압 부품

• 웨이퍼 테이블 서스펜션 에어 쿠션: 리소그래피 기계의 웨이퍼 테이블은 공기 베어링 기술에 의존하는 0.1 미크론 정밀 서스펜션 포지셔닝을 달성해야합니다. 압축 공기는 공기 베어링을 통과하여 매우 얇은 가스 필름을 형성하며, 이는 웨이퍼 테이블을 기계적 구조로부터 완전히 격리시키고 직접 접촉으로 인한 마찰 및 진동을 방지합니다. 이러한 비접촉 서스펜션 방법은 노광 공정 동안 웨이퍼의 절대적인 안정성을 보장하고, 나노스케일 정밀도의 리소그래피 동작을 위한 기초를 제공한다.
• 렌즈 온도 조정 장치리소그래피 기계의 광학 시스템은 온도 변화에 매우 민감하며 온도 차이는 0.01 ° C 내에서 제어되어야합니다. 압축 공기는 일정한 공기 흐름을 통해 렌즈의 일정한 온도를 유지하여 온도 변동으로 인한 광학 부품의 열 변형을 방지하여 노출 시스템의 정확성을 보장합니다.
• 기계식 팔 포지셔닝 메커니즘리소그래피 기계 내부의 자동화 된 로봇 암은 웨이퍼, 캐리어 및 기타 재료의 빠른 파악, 취급 및 정확한 위치에 사용됩니다. 압축 공기는 실린더 및 공압 모터를 구동하는 전원으로 사용되어 로봇 암의 빠르고 정확한 움직임을 실현하여 나노 규모 작업에서 각 구성 요소의 정확한 위치를 보장합니다.

장비 안정성 유지

• 압력 안정성리소그래피 기계는 압축 공기의 매우 높은 압력 안정성을 필요로하며 일반적으로 0.5-0.7MPa 사이의 압력을 필요로하며 변동 범위는 매우 작은 범위 내에서 제어되어야합니다. 안정적인 공기 압력은 리소그래피 기계의 정밀도를 유지하는 데 매우 중요하며 공기 압력의 변동은 공기 스프링 진동 절연체와 같은 구성 요소의 성능에 영향을 미치므로 리소그래피 기계의 광학 시스템의 약간의 변위 또는 진동이 발생합니다. 따라서 노출 정확도에 영향을 미칩니다.
• 흐름 안정성리소그래피 기계의 다른 부분은 다른 작업 단계에서 압축 공기에 대한 서로 다른 흐름 요구 사항을 가지고 있습니다. 압축 공기 흐름이 안정적인지 확인하고 리소그래피 기계의 각 구성 요소의 가스 수요를 충족시킬 수 있으며 리소그래피 프로세스의 연속성과 안정성을 보장합니다.

깨끗한 환경 보장

• 청소 보증3 단계 여과 후 압축 공기는 먼지 및 기타 오염 물질을 격리하기 위해 리소그래피 기계 내부에 보호 공기 커튼을 형성합니다. 웨이퍼 제조 공정에서, 표면은 작은 입자와 불순물을 흡착하기 쉽고, 정화 및 청소를위한 깨끗한 압축 공기의 사용은 웨이퍼 표면 불순물을 효과적으로 제거 할 수 있으며, 과도한 공기 흐름으로 인한 웨이퍼 손상을 피하면서 웨이퍼의 청결 및 제품 품질을 보장합니다.

온도 조절에 참여

• 렌즈 온도 제어: 앞서 언급했듯이 압축 공기는 일정한 공기 흐름을 통해 렌즈의 일정한 온도를 유지하여 온도 변동으로 인한 광학 부품의 열 변형을 방지합니다. 이것은 광학 요소의 작은 변형이 리소그래피 패턴의 전달 정확도에 직접적인 영향을 미치기 때문에 노출 시스템의 정확성을 보장하는 데 매우 중요합니다.