압축 공기 시스템의 설계 중복은 무엇입니까?

칩 제조에서 압축 공기 시스템 설계의 중복량은 다음을 기반으로해야합니다.가스 수요 변동, 장비 신뢰성 요구 사항, 공정 안정성 요구 사항일반적으로 사용되는 포괄적 인 결정의 세 가지 측면.여러 장치의 결합 된 작동 + 예비 용량기름이없는 물 윤활 공기 압축기의 구성 계획은 기름없는 오염과 낮은 유지 보수 비용의 특성으로 인해 중복 설계의 핵심 장비 중 하나가되었습니다. 다음은 구체적인 분석입니다.

1. 중복 디자인의 핵심 원리

1. 가장 먼, 가장 높은 압력 수요를 충족: 중복 설계는 모든 지역이 안정적인 가스 공급을 얻을 수 있도록 시스템에서 가장 원격적이고 가장 높은 압력 수요 가스 포인트를 기반으로해야합니다. 예를 들어, 리소그래피 기계는 0.5-0.7MPa 의 안정한 압력을 필요로 할 수 있으며, 이는 설계시 최소 표준으로 사용되어야하며 특정 마진이 확보되어야합니다.
2. 가스 변동에 대처: 칩 제조 작업장의 가스 소비는 크게 변동하며 부하는 중복 장비로 균형을 이루어야합니다. 예를 들어, 단일 장비 가득 차있는 부하, 다른 장비가 자동으로 시작할 수있는 여러 오일 프리 물 윤활 공기 압축기 조합 작업의 사용, 압력 변동을 피하기 위해 프로세스 정확도에 영향을 미칩니다.
3. 프로세스 연속성 보장: (리소그래피, 에칭과 같은) 키 프로세스 링크는 압축 공기의 매우 높은 연속성을 요구하며, 임의의 단일 장비 고장시 시스템의 안정적인 작동을 보장하기 위해 중복 설계가 요구된다. 예를 들어, "N + 1" 중복 구성이 채택됩니다. 즉, N 개의 장치가 정상 수요를 충족하고 1 개의 예비 장치가 추가로 구성됩니다.

2. 중복 디자인에 있는 기름없는 물 윤활 공기 압축기 의 신청

1. 기름없는 오염 특성: 칩 제조에는 압축 공기의 매우 높은 오일 함량이 필요합니다 (일반적으로 0.01ppm 미만). 오일이없는 물 윤활 공기 압축기는 물 윤활을 통해 전통적인 오일 윤활을 대체하여 소스에서 오일 오염 위험을 제거하고 가스 순도에 대한 고급 프로세스의 요구 사항을 충족시킵니다.
2. 낮은 유지 보수 비용: 물 윤활 시스템은 윤활유의 사용 및 교체를 줄이고 유지 보수 빈도와 비용을 줄입니다. 예를 들어, 오일이없는 물 윤활 공기 압축기는 순환하는 물, 정수 필터 및 흡입 필터를 정기적으로 교체해야하며 유지 보수 기간은 최대 3000 시간이며 연속 작동 시나리오에 적합합니다.
3. 고효율 및 에너지 절약: 물 윤활 시스템은 물 필름을 통해 로터 사이의 마찰을 줄이고 압축 효율을 향상시킵니다. 동시에 영구 자석 주파수 변환 기술로 가스 수요에 따라 속도를 동적으로 조정하여 에너지 소비와 압력 사이의 균형을 이룰 수 있습니다. 예를 들어, 저압 가스 공급 시나리오 (예: 0.15-0.4MPa) 에서 에너지 효율은 기존 모델에 비해 30% 이상 향상됩니다.

3. 중복 디자인을 위한 특정한 체계

1. 장비 선택 및 조합: 최대 공기 수요 및 변동에 따라 여러 비 오일 및 물 윤활 공기 압축기가 결합 된 작동에 사용됩니다. 예를 들어, 칩 제조 기업에는 4 개의 오일 프리 및 물 윤활 공기 압축기 (사용 3 개, 대기 1 개) 가 장착되어 있으며, 단일 정격 유량은 50m & sup3 입니다./min, 총 유량은 150m & sup3;/min, 최대 수요를 충족하고 20% 중복을 예약 할 수 있습니다.
2. 압력 조절 및 버퍼링: 압력 조절 밸브 및 가스 저장 탱크는 동적 버퍼링을 통해 압력 변동을 흡수하기 위해 메인 네트워크, 지역 분배 시스템 및 주요 장비 입구의 층에 배치됩니다. 예를 들어, 가스 저장 탱크의 부피는 압력 변동 범위가 ≤ ± 0.5% 임을 보장하기 위해 압축기 변위 및 가스 소비 변동에 따라 결정됩니다.
3. 지능형 모니터링 및 조기 경고: 온라인 압력 센서 및 지능형 제어 시스템을 배치하여 파이프 네트워크 압력을 실시간으로 모니터링하고 장비 작동 상태를 자동으로 조정합니다. 압력이 설정된 임계 값보다 낮 으면 시스템은 대기 장비를 자동으로 시작합니다. 압력이 계속 비정상이면 알람이 트리거되고 비상 필터링 프로그램이 시작됩니다.