반도체 제조에서 질소의 역할

질소는 반도체 제조에서 가장 중요한 보조 가스 중 하나이며 코어는 한 단어, 가드입니다.

반도체 칩의 제조 공정은 환경에 매우 민감하며, 임의의 산소 및 수증기는 이전의 수십 개의 공정을 헛되이 만들 수 있다. 질소는 화학적으로 매우 안정적이며 다른 것들과 반응하는 것을 좋아하지 않으므로 주로 생산 라인에서 이러한 것들을 수행합니다.

첫 번째는 보호 가스 때입니다. 칩이 고온에서 가공될 때, 표면은 특히 산화되기 쉽고, 일단 산화 성능이 완전히 변화된다. 이 때 전체 처리 영역이 질소로 덮여 있고 산소가 외부에서 분리되어 칩이 연소되지 않습니다.

두 번째는 가스를 정화 할 때입니다. 각 프로세스가 완료되면 이전 단계의 화학 물질 또는 입자가 공동 및 파이프 라인에 남아 있습니다. 이러한 것들이 정리되지 않으면 다음 칩 배치가 오염됩니다. 질소를 사용하여 파이프와 공동을 처음부터 끝까지 날려 잔류 물을 덮어 다음 프로세스가 깨끗하게 시작되도록하십시오.

세 번째는 가스를 운반 할 때입니다. 반도체 제조는 많은 액체 화학 물질을 사용합니다. 이러한 화학 물질은 저장 탱크에서 가공 장비로 보내야합니다. 푸시는 무엇입니까? 질소. 한 곳에서 다른 곳으로 액체 화학 물질에 질소는 전체 과정이 공기와 접촉하지 않으며 오염되지 않으며 악화되지 않습니다.

네 번째는 공기 누출을 확인할 때입니다. 장비 또는 파이프 라인을 마친 후 씰이 좋은지 여부를 어떻게 알 수 있습니까? 질소로 채워서 압력이 떨어질 수 없는지 확인하십시오. 떨어지면 누출이 있음을 의미합니다. 그것을 수리하고 재사용하십시오.

질소로, 물 윤활 공기 압축기가 반도체 공장에서 무엇을하고 있는지에 대해 이야기 해 봅시다. 질소 외에도 반도체 공장에서 공압 밸브, 기계 암 및 변속기 메커니즘을 구동하기 위해 많은 양의 압축 공기가 필요합니다. 이러한 장치는 매우 높은 공기 청결을 요구하며, 심지어 약간의 오일 미스트가 웨이퍼를 오염시킬 수 있다. 물 윤활 공기 압축기는 윤활유 대신 깨끗한 물을 사용합니다. 물은 기계 내부에 물 필름을 형성하여 마찰을 줄이고 틈을 밀봉합니다. 최종 출력은 깨끗하고 기름이없는 압축 공기입니다. 이 오일 프리 공기는 생산 라인에서 공압 부품을 구동하고 질소와 협력하여 전체 생산 라인이 청정 전원 및 불활성 보호 환경을 모두 갖추고 있는지 확인합니다. 물 윤활 공기 압축기는 오일 회로 시스템을 필요로하지 않기 때문에 구조가 더 간결하고 오일 증기 확산의 위험이 없습니다. 극도의 청결을 요구하는 반도체 장면에 특히 적합합니다.

요약하면, 질소는 보호, 정화, 운송 및 누출 감지를 담당하며, 물 윤활 공기 압축기는 오일이없는 전력을 제공합니다. 이 둘의 조합은 반도체 생산 라인을 깨끗하고 안전하게 만듭니다.