광전지 생산에 공기 압축기의 응용

태양 광 전지 생산에서 공기 압축기는 공정 정확성과 제품 품질을 보장하는 핵심 장비이며, 그 적용은 실리콘 웨이퍼 가공, 셀 칩 제조 및 부품 포장의 전체 프로세스를 통해 실행됩니다. 전문적인 관점에서 특정 역할과 기술적 요구 사항에 대한 다음 분석:

1. 핵심 프로세스의 응용

1. 웨이퍼 청소 및 캐시미어 만들기
   • 기능: 금속 불순물, 유기 오염 물질 및 절단 손상 층을 제거하기 위해 실리콘 웨이퍼의 표면을 퍼지하기 위해 고압 공기 흐름을 제공하십시오.
   • 기술 요구 사항: 정밀 필터는 가스 청결이 ISO 8573-1 클래스 1 표준에 도달하여 입자 오염을 방지하여 배터리 효율을 저하시키는 데 필요합니다.
   • 프로세스 값: 피라미드 모양의 스웨이드 구조는 벨벳 공정에 의해 형성되어 광 반사율을 30% 에서 10% 미만으로 낮추고 배터리의 단락 전류를 크게 향상시킬 수 있습니다.
2. 확산 결합
   • 기능: PN 접합부를 형성하는 동안, 도핑 가스 (POCl과 같은) 는 질량 흐름 제어기를 통해 정확하게 전달되고, 노 튜브의 안정적인 가스 흐름 필드가 유지된다.
   • 기술 요구 사항: PN 접합부의 균일 성을 보장하기 위해 가스 흐름 변동 <+ 1% 를 보장하기 위해 가변 주파수 속도 제어 시스템을 갖추어야합니다.
   • 프로세스 값: 배터리의 개방 회로 전압에 직접 영향을 미치며 고품질 PN 접합은 변환 효율을 0.3-0.5 로 높일 수 있습니다.
3. 플라즈마 에칭
   • 기능: 반응 가스 (예: CF-H4) 의 캐리어 가스를 제공하고 진공 챔버의 압력을 안정적으로 유지하십시오.
   • 기술 요구 사항: 오일 프리 스크롤 공기 압축기는 오일 증기 오염으로 인한 에칭 에지 거칠기의 증가를 피하기 위해 사용해야합니다.
   • 프로세스 값: 실리콘 웨이퍼의 가장자리에서 PN 접합을 정확하게 제거하고 에지 누설 전류를 0.1μA 미만으로 줄이며 구성 요소의 PID 방지 성능을 향상시킵니다.
4. 코팅 및 스크린 인쇄
   • 기능: PECVD 코팅 중에 공정 가스 (예: SiH?/NHL) 의 캐리어 가스를 제공하고 스크린 인쇄 후 과도한 슬러리를 퍼지하십시오.
   • 기술 요구 사항: 차가운 건조기는 수증기가 필름이 떨어지는 것을 방지하기 위해-40 ℃에서 압력 이슬점을 제어하도록 구성되어야합니다.
   • 공정 값: 실리콘 질화물 반사 방지 필름은 광 흡수율을 4%-6% 증가시킬 수 있으며 고품질 전극 인쇄는 직렬 저항을 0.5 mΩ · cm² 이하로 줄일 수 있습니다.

2. 특별 한 프로세스 요구 사항

1. 오일 프리 표준
   • TÜV 클래스 0 오일 프리 인증을 통과 한 모델을 사용해야하며 가스의 오일 함량은 0.01 mg/m & sup3 미만입니다. 배터리의 EL 테스트에서 검은 반점을 유발하는 오일 오염을 피하십시오.
2. 압력 안정성
   • 주요 공정 (예: 확산 및 코팅) 은 가스 저장 탱크 및 압력 유지 보수 밸브가 장착되어 공기 압력 변동이 <± 0.02MPa 이고 공정 반복성이 보장되도록해야합니다.
3. 에너지 효율 관리
   • 전력 주파수 기계에 비해 25%-35% 의 에너지를 절약하는 영구 자석 주파수 변환 모델을 사용하는 것이 좋습니다. 열 회수 시스템으로 압축 열을 사용하여 물 세척 탱크를 예열하여 포괄적 인 에너지 효율을 40% 향상시킵니다.

3. 전형적인 신청 사례
210mm 대형 실리콘 웨이퍼 생산을 예로 들어 보겠습니다.

• 장치 구성: 4 GW37 비 오일 물 윤활 공기 압축기 (정격 압력 0.8MPa, 변위 6.1m & sup3;/min)
• 프로세스 매칭:
  • 청소 및 벨벳 만들기: 이중 기계 연결 공기 공급, 흐름 변동 <± 3%
  • 확산 접합: 정밀 압력 조절 밸브, 0.005MPa 의 압력 안정성 장착
  • 구성 요소 라미네이션: 차가운 건조기와 흡착 건조기의 조합을 통해 압력 이슬점은-60 ℃이며, EVA 필름에 거품이 없는지 확인합니다.
• 에너지 효율 성능: 시스템 별 전력 ≤ 5.2kW/(m & sup3;/min), 산업 평균에 비해 18% 에너지 절약

4. 선택 권장 사항

1. 용량 매칭: 단일 라인 용량 계산에 따르면 각 GW 배터리 생산에는 120-150m & sup3;/min 공기 압축기 장치가 장착되어야합니다.
2. 중복 디자인: N + 1 백업 모드는 단일 장치가 고장 나면 시스템 압력 강하가 10% 미만인지 확인하기 위해 채택됩니다.
3. 지능형 제어: 사물 인터넷 모듈을 구성하여 압력, 온도, 에너지 소비 등과 같은 20 개의 매개 변수를 실시간으로 모니터링하고 오류 경고 응답 시간은 3 초 미만입니다.

공기 압축기는 태양 광 전지 생산에서 전통적인 전원에서 정밀 공정 장비로 진화했으며, 기술 개발은 대규모 및 얇은 슬라이스 셀의 추세와 깊이 통합되어 있습니다. 오일 프리 인증, 정밀 압력 제어 및 지능형 에너지 절약 기능을 갖춘 모델을 선택하는 것은 태양 광 제품의 경쟁력을 보장하기위한 중요한 기초입니다.