반도체 압축 공기 품질 표준

반도체 압축 공기 품질 표준은 주로 다음과 같은 측면을 포함합니다:

1. 압축 공기질 수준: ISO 8573.1 에 따르면 압축 공기의 오염 물질은 고체 불순물, 물 및 오일로 구분됩니다. 반도체 산업은 일반적으로 생산 공정의 안정성과 제품의 품질을 보장하기 위해 높은 공기 품질 수준을 요구합니다. 특히, 먼지 요건은 일반적으로 최대 0.01 ㎛이며, 이는 압축 공기 내의 고체 입자 크기가 이 값보다 작아야 함을 의미한다.

2. 오일 요구 사항: 반도체 산업에서 압축 공기의 오일 함량은 엄격하게 제어됩니다. 일반적으로 오일 요구 사항은 0.00ppm 입니다. 즉, 압축 공기는 기본적으로 생산 공정 및 제품의 오염을 피하기 위해 오일이 없습니다.

3. 이슬포인트: 이슬점 온도는 압축 공기의 수분 함량을 측정하는 중요한 지표입니다. 반도체 산업은 일반적으로 공기가 너무 많은 수분을 함유하지 않도록 압축 공기에 대해 매우 낮은 이슬점 요구 사항을 가지고 있습니다. 일반적으로 이슬점 요구 사항은-40 ° C에서-70 ° C 사이이며 습기가 생산 공정을 방해하는 것을 방지합니다.

4. 압력 요구 사항: 반도체 산업은 또한 압축 공기의 압력에 대한 특정 요구 사항을 가지고 있습니다. 특정 압력 값은 프로세스 및 장비에 따라 다를 수 있지만 일반적으로 압력은 생산 공정의 원활한 진행을 보장하기 위해 안정적인 범위 내에서 유지되어야합니다.

요약하면, 반도체 압축 공기의 품질 표준은 고체 불순물, 습기, 오일 및 압력을 포함한 포괄적 인 고려 사항입니다. 이 표준은 반도체 생산 공정의 안정성과 제품의 품질을 보장하도록 설계되었습니다.