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반도체 압축 공기의 분류

2026-06-05읽기:

반도체 산업은 일반적으로 순도, 건조, 오일 함량 및 기타 지표에 따라 분류되는 압축 공기에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 반도체 압축 공기의 분류는 일반적으로 다음과 같습니다.

학년기질 (비 수분) 내용수분 함량오일 함량적용 범위
체인맨 레벨≥ 99.995%≤ 5 mg/m & sup3;≤ 0.003 mg/m & sup3;리소그래피 기계, 스캐닝 전자 현미경 및 기타 첨단 제조 장비와 같은 반도체 생산의 가장 민감한 측면에 적합합니다.
매우 깨끗한 수준≥ 99.99%≤ 10 mg/m & sup3;≤ 0.01 mg/m & sup3;습식 공정, 웨이퍼 청소 등과 같은 반도체 생산의 다양한 측면에 적합합니다.
순 등급≥ 99.9%≤ 20 mg/m & sup3;≤ 0.1 mg/m & sup3;화학 기상 증착, 건조 공정 등과 같은 반도체 생산의 대부분의 측면에 적합합니다.
깨끗한 수준≥ 99.5%≤ 50 mg/m & sup3;≤ 0.5 mg/m & sup3;산화로, 어닐링로 등과 같은 일부 반도체 생산 링크에 적합합니다.
보호 수준≥ 98%≤ 100 mg/m & sup3;≤ 1 mg/m & sup3;테스트 장비, 보조 장비 등과 같은 반도체 생산의 비 중요한 측면에 적합합니다.
산업 등급≥ 95%≤ 500 mg/m & sup3;≤ 5 mg/m & sup3;일반 기계 장비, 공장 압축 공기 등과 같은 반도체 생산 이외의 장비에 적합합니다.
대기 등급≥ 90%≤ 1000 mg/m & sup3;≤ 10 mg/m & sup3;석유 시추, 완전히 밀폐 된 온도 조절기 등과 같은 일반적인 강력한 장비에 적합합니다.

이 등급은 압축 공기의 품질에 대한 다양한 반도체 생산 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 실제 생산에서는 압축 공기 수준이 높을수록 생산 비용이 높아집니다. 따라서 공정의 품질을 보장한다는 전제하에 저급 압축 공기를 사용하여 생산 비용을 절감해야합니다. 반도체 압축 공기 등급 표준은 반도체 생산에 중요한 역할을하며, 이는 생산 공정의 안정성을 보장하고 제품 품질을 향상시키는 데 중요한 역할을합니다.

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