2026-06-05읽기:
반도체 산업은 일반적으로 순도, 건조, 오일 함량 및 기타 지표에 따라 분류되는 압축 공기에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 반도체 압축 공기의 분류는 일반적으로 다음과 같습니다.
| 학년 | 기질 (비 수분) 내용 | 수분 함량 | 오일 함량 | 적용 범위 |
|---|---|---|---|---|
| 체인맨 레벨 | ≥ 99.995% | ≤ 5 mg/m & sup3; | ≤ 0.003 mg/m & sup3; | 리소그래피 기계, 스캐닝 전자 현미경 및 기타 첨단 제조 장비와 같은 반도체 생산의 가장 민감한 측면에 적합합니다. |
| 매우 깨끗한 수준 | ≥ 99.99% | ≤ 10 mg/m & sup3; | ≤ 0.01 mg/m & sup3; | 습식 공정, 웨이퍼 청소 등과 같은 반도체 생산의 다양한 측면에 적합합니다. |
| 순 등급 | ≥ 99.9% | ≤ 20 mg/m & sup3; | ≤ 0.1 mg/m & sup3; | 화학 기상 증착, 건조 공정 등과 같은 반도체 생산의 대부분의 측면에 적합합니다. |
| 깨끗한 수준 | ≥ 99.5% | ≤ 50 mg/m & sup3; | ≤ 0.5 mg/m & sup3; | 산화로, 어닐링로 등과 같은 일부 반도체 생산 링크에 적합합니다. |
| 보호 수준 | ≥ 98% | ≤ 100 mg/m & sup3; | ≤ 1 mg/m & sup3; | 테스트 장비, 보조 장비 등과 같은 반도체 생산의 비 중요한 측면에 적합합니다. |
| 산업 등급 | ≥ 95% | ≤ 500 mg/m & sup3; | ≤ 5 mg/m & sup3; | 일반 기계 장비, 공장 압축 공기 등과 같은 반도체 생산 이외의 장비에 적합합니다. |
| 대기 등급 | ≥ 90% | ≤ 1000 mg/m & sup3; | ≤ 10 mg/m & sup3; | 석유 시추, 완전히 밀폐 된 온도 조절기 등과 같은 일반적인 강력한 장비에 적합합니다. |
이 등급은 압축 공기의 품질에 대한 다양한 반도체 생산 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 실제 생산에서는 압축 공기 수준이 높을수록 생산 비용이 높아집니다. 따라서 공정의 품질을 보장한다는 전제하에 저급 압축 공기를 사용하여 생산 비용을 절감해야합니다. 반도체 압축 공기 등급 표준은 반도체 생산에 중요한 역할을하며, 이는 생산 공정의 안정성을 보장하고 제품 품질을 향상시키는 데 중요한 역할을합니다.
Shanghai Granklin Group은 물 윤활유 프리 스크류 공기 압축기를 생산합니다. 우리의 제품은 해외 유럽, 미국 및 동남 아시아 국가뿐만 아니라 모든 국가에 있습니다. 전 세계를위한 애프터 서비스 인 Granklin Group은 공기 압축기뿐만 아니라 일부 지원 시설, 가스 저장 탱크 및 냉기 건조기를 판매합니다.
세부 사항 보기CNC 머시닝 센터는 일반적으로 가공 공정의 여러 측면을 통해 실행되는 압축 공기를 필요로하며 장비의 정상적인 작동을 보장하고 가공 정확성과 효율성을 향상시키는 핵심 요소입니다. 다음은 특정 분석입니다: 1. CNC 머시닝 센터의 압축 공기의 주요 목적
공기 압축기 20 입방 미터는 일반적으로이 유형의 공기 압축기의 배기 부피를 나타냅니다. 즉, 분당 배출 할 수있는 가스 부피는 20 입방 미터 (m & sup3;/min) 입니다. 이 매개 변수는 공기 압축기의 성능을 나타내는 중요한 지표이며 공기 압축기의 생산 능력을 직접 반영합니다.
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작은 오일, 습기 또는 고체 입자가 민감한 반도체 생산 공정에 악영향을 미칠 수 있기 때문에 반도체 산업은 압축 공기의 품질에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 따라서, 반도체 산업은 일반적으로 오일 프리 공기 압축기 장비를 사용하는 경향이 있다.
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