2026-06-03읽기:
칩 처리는 압축 공기에 대한 매우 엄격한 요구 사항을 가지고 있으며 주로 다음과 같은 측면에 반영됩니다.
건조:
압축 공기는 공기 공급 시스템의 응축을 피하기 위해 매우 건조해야합니다. 수분은 장비의 부식, 제품 품질의 저하 및 생산 공정의 문제를 일으킬 수 있습니다. 따라서 압축 공기의 건조를 보장하는 것은 칩 처리에 매우 중요합니다.
청결:
기름, 먼지, 미생물 및 기타 오염 물질은 압축 공기에서 허용되지 않습니다. 이들 불순물은 웨이퍼를 오염시켜 제품 결함을 야기할 수 있다. 칩 가공 작업장의 공기 청결은 일반적으로 100000 이상과 같은 특정 표준을 충족합니다. 청정실과 같이 칩이 생산되는 중요한 영역의 경우, 공기 청결을 위한 표준은 공기 입방 미터당 0.5 미크론 이상의 100 개 이하의 입자일 수 있다.
이러한 청결 요구 사항을 달성하기 위해서는 공기가 깨끗한 지 확인하기 위해 고효율 필터 및 오일 제거 장비를 사용해야합니다. 동시에 클린 룸은 정기적으로 청소 및 소독해야하며 전문가가 유지 관리하고 모니터링해야합니다.
압력 안정성:
웨이퍼 제조 장비는 압축 공기의 압력 안정성에 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 압력 변동은 장비의 정상 작동 및 공정의 안정성에 영향을 줄 수 있습니다. 따라서 압축 공기 공급 시스템의 압력이 안정적이어야하며 적절한 압력 조정 및 완충 장치가 장착되어 있어야합니다.
요약하면, 칩 처리를위한 압축 공기의 요구 사항은 주로 건조, 청결 및 압력 안정성의 세 가지 측면에 반영됩니다. 이러한 요구 사항을 충족하려면 제품의 품질과 수율을 보장하기 위해 칩 처리 프로세스의 공기 품질이 표준에 도달하도록 해당 기술 조치 및 장비 구성을 수행해야합니다.
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