半導体チップ業界では、圧縮空気は高清浄度、安定性と制御性のため、多くの重要な環節に広く応用されている。具体的な応用と役割は以下の通りである
一、核心工芸環節の応用
- ウエハの製造と洗浄
- 環境制御: 圧縮空気は温度と湿度を調節することで、ウエハの製造に必要なクリーンルーム環境を維持し、ほこりと水分汚染を防止する。
- 表面クリーニング: ウエハ洗浄段階で、圧縮空気は表面をパージし、微小な塵埃や残留物を除去し、ウエハ表面の乾燥と無水残留を確保し、後続のプロセスで欠陥が発生しないようにする。
- フォトリソグラフィとエッチング
- レジスト処理: 圧縮空気はフォトレジスト表面をパージし、均一な塗布を確保し、パターン移転精度を高める。
- エッチングアシスト: エッチング中、圧縮空気は残留物を除去し、エッチング効果の正確性を確保すると同時に、室内圧力の安定性を維持し、堆積層の均一性を保障する。
- 薄膜堆積とイオン注入
- 圧力安定: 圧縮空気は堆積室内の圧力を安定に維持し、フィルムの厚さの整合性を確保する。
- プロセス保護: イオン注入などの段階で、圧縮空気は保護ガスとして、ウエハ表面の酸化や汚染を防ぐ。
- チップ切断とパッケージテスト
- カッティングサポート: オイルフリースクリューエアコンプレッサは機械エネルギーを提供し、チップの切断と彫刻の品質を保障する。
- パッケージテスト: 圧縮空気は、パッケージデバイスを駆動するために使用され、チップパッケージの品質を確保し、テスト段階で高圧ガスのサポートを提供します。
二、補助生産環節の応用
- 設備駆動と自動制御
- 圧縮空気はエアバルブ、シリンダなどの部品を駆動し、生産ラインの自動化、例えば資材搬送、選別と包装などの環節を実現する。
- 静電塗装とプリント基板クリーニング
- 静電気スプレー: 圧縮空気は原料を静電場に吹き込み、塗料を基板表面に均一に付着させます。
- PCBクリーニング: 生産後、圧縮空気でプリント基板を洗浄し、ほこりや不純物を除去し、基板の清浄度を高める。
- エネルギー回収とグリーン生産
- エネルギー回収装置を通じて生産過程で発生した熱エネルギーを利用し、エネルギー消費量を減らし、無駄を減らし、グリーン生産理念に合致する。
三、重要な要求と設備の選択
- 品質要求
- オイルフリー基準: 半導体業界は圧縮空気がClass 0レベルの無油基準に達し、油分がウエハ表面を汚染しないように要求している。
- 含塵制御: 粒子のサイズは0.01m m以内に抑えて、微小不純物がチップの性能に影響しないようにします。
- 露点コントロール露点温度は-40 ℃ から-70 ℃ に達し、空気の乾燥度を確保する必要があります。
- 設備選択
- オイルフリースクリューコンプレッサー: オイルフリー、乾燥、安定した圧縮空気を提供し、高清浄度のニーズを満たす。
- 遠心エアコンプレッサー: 大規模な生産に適しており、輸入バルブとバイパスバルブを調節することで圧力が安定している。
- 後処理設備: フィルター、乾燥機などを含み、圧縮空気をさらに浄化し、プロセスの要求を確実に満たす。
四、応用事例
- グランクリンのソリューション: オイルフリースクリュー圧縮機 (定周波数/インバータ) と後処理製品 (フィルター、乾燥機など) を提供し、半導体生産ラインに安定した効率的な圧縮空気サポートを提供する。
- スクリュー式エアコンプレッサのメリット: パッケージテストの段階で、スクリュー式エアコンプレッサは無油、低騒音、高エネルギー効率の特徴で、チップテストと選別の空気品質を保障し、生産効率を高める。
