2026-04-27読書量：
半導体業界は圧縮空気に対する要求が極めて高く、その圧縮空気は通常、その純度、乾燥度、含油量などの指標によって分類される。 半導体圧縮空気の等級分類は一般的に以下の通りである
| 等级 | 気質 (非水分) 含有量 | 水分量 | オイル含有量 | 適用範囲 |
|---|---|---|---|---|
| 常満級 | ≧ 99.995% | ≦ 5mg/& sup3; | ≦ 0.003mg/m & sup3; | 半導体生産に適した最も敏感な環節、例えば、彫刻機、走査電子顕微鏡などのハイテク製造設備。 |
| クリーンレベル | ≧ 99.99% | ≦ 10mg/& sup3; | ≦ 0.01mg/& sup3; | 半導体生産に適した様々な環節、例えば湿式プロセス、ウエハ洗浄など。 |
| ネットレベル | ≧ 99.9% | ≦ 20mg/& sup3; | ≦ 0.1mg/& sup3; | 半導体生産の多くの環節、例えば化学気相成長、乾式プロセスなどに適している。 |
| クリーンレベル | ≧ 99.5% | ≦ 50mg/& sup3; | ≦ 0.5mg/& sup3; | 一部の半導体生産環節、例えば酸化炉、焼戻し炉などに適用する。 |
| 保護レベル | ≧ 98% | ≦ 100mg/& sup3; | ≦ 1mg/& sup3; | 半導体生産に適用される非重要な環節、例えばテスト設備、補助設備など。 |
| 工業レベル | ≧ 95% | ≦ 500mg/& sup3; | ≦ 5mg/& sup3; | 半導体生産以外の設備、例えば普通の機械設備、工場の圧縮空気などに適用する。 |
| 大気レベル | ≧ 90% | ≦ 1000mg/& sup3; | ≦ 10mg/& sup3; | 石油掘削、一部の全閉鎖サーモスタットなど、一般的に強い設備に適している。 |
これらの等級分類は異なる半導体生産プロセスの圧縮空気品質に対する厳しい要求を満たすことを目的としている。 実際の生産では、圧縮空気の等級が高いほど、生産コストが高くなる。 そのため、プロセスの品質を保証した上で、できるだけ低レベルの圧縮空気を使用して、生産コストを下げる。 半導体圧縮空気等級基準は半導体生産において重要な役割を果たし、生産技術の安定性と製品品質の向上を保証するのに重要な役割を持っている。
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