2026-04-23読書量：
国際的に主に採用されている半導体空圧システムの基準は以下のものを含む
ISO 8573-1-2010: これは国際標準化機構 (ISO) が発表した基準で、空気の質の各等級、検査方法と制限値などを規定している。
GB/T 2819-2011: これは中国国家標準化管理委員会が発表した基準で、圧縮空気、窒素ガスと不活性ガスの品質指標、測定方法と制限値などを規定している。
SEMI S2-0715: これはアメリカの半導体設備と材料国際協会 (SEMI) が発表した基準で、半導体設備は人身の安全、環境保護と設備の性能などの規定を満たさなければならない。
SEMI S6-0715: これもSEMIが発表した基準で、半導体設備は電気安全、機械安全、防火防爆などの規定を満たさなければならない。
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