半導体工場の空気圧縮システムの運転技術の要求は極めて厳しく、これらの要求は圧縮空気の品質が半導体生産過程の高い基準を満たすことを確保することを目的としている。 半導体工場の空気圧縮システムの運転技術要求の詳細なまとめを以下に示す
一、圧縮空気品質基準
- 水分含有量:
- 露点要求:通常は-40 ℃ を超えてはならない。圧縮空気中に水分がほとんど含まれていないことを確保し、配管や設備中で水分が凝縮するのを防止し、設備の精度と寿命に影響を与える同時にウエハなどの生産材料の汚染を避ける。
- 油蒸気含有量:
- 含有量制限: 0.01 mg/を超えてはならず、完全に無油であることが要求される。 油蒸気は半導体表面を汚染し、製品の品質に影響を与える。
- 固体粒子:
- 圧縮空気には、ほこりや金属屑などの固体粒子が含まれてはならない。これらの粒子はウエハ表面に傷や汚染をもたらし、製品の品質に大きく影響する。
二、システム安定性要求
- 圧力と流量が安定している:
- 圧縮空気の圧力と流量は安定して、生産過程の連続性と整合性を確保しなければならない。 これは空気圧縮システムが正確な調節能力と安定した出力性能を備えていることを要求します。
- 設備の信頼性:
- 空気圧縮システムの重要な設備、例えば圧縮機、乾燥機、フィルターなどは、高い信頼性と長寿命を備えて、故障のダウンタイムを減らし、生産効率を高める必要がある。
三、設備と技術の選定
- オイルフリーエアコンプレッサー:
- 半導体工場は通常、オイルレス圧縮機を用いて、油汚染の可能性を源から取り除く。 オイルフリーエアコンプレッサは特殊なシール材と構造を採用し、圧縮空気の純粋なオイルフリーを確保している。
- 高効率精密フィルター:
- 多層ろ過技術により、空気中の微小粒子と油脂を効果的に濾過し、圧縮空気の清浄度を確保する。
- 空気乾燥機:
- 効率的な空気乾燥機、例えば冷凍式乾燥機や吸着式乾燥機を選んで、空気中の水分量をさらに低減する。
- インテリジェント制御システム:
- 知能インバータ技術を採用し、実際の需要に応じて出力圧力と流量を動的に調整し、エネルギー効率の最適化と安定運転を実現する。
四、メンテナンスとモニタリング
- 定期点検とメンテナンス:
- 定期的に圧縮機、フィルター、乾燥機とガス配管の検査とメンテナンスを行い、設備の正常な運行を確保する。 これには、クリーニング、エレメントの交換、シール性のチェックなどの操作が含まれます。
- 大気質モニタリング:
- システムに空気品質監視ポイントを設置し、圧縮空気中の水分、油蒸気と固体粒子の含有量をリアルタイムで監視し、空気品質が常に基準を満たすことを確保する。
- シール性とガス漏れ検査:
- 空気システムのシール性とガス漏れの問題に注意し、ガス漏れ点を発見して処理し、エネルギーの浪費と空気の質の低下を避ける。
五、関連基準と法規に従う
半導体工場の空気圧縮システムの運行はまた関連業界の標準と法規に従う必要があります。例えば、SEMI S2-0715、SEMI S6-0715、ISO 8573-1-2010及びGB/T 2819-2011などです。 これらの基準は半導体設備の人身安全、環境保護、電気安全、機械安全及びガス品質などの要求を規定している半導体の生産過程の安全、高効率、高品質運行を確保する重要な根拠である。
以上のように、半導体工場の空気圧縮システムの運行技術要求は圧縮空気の品質基準、システムの安定性要求、設備と技術の選定、メンテナンスとモニタリング、および関連基準と法規などの多方面に及ぶ。 これらの要求の厳格な実行は半導体の生産過程の順調な進行と製品品質の高い安定性を確保する上で重要な意義を持っている。
