チップ製造圧縮空気要求

チップ製造の過程で、圧縮空気の品質要求は極めて厳しく、これらの要求は生産環境の清浄度、設備の安定運転と最終製品の品質と歩留まりに直接関係している。 以下は再編成され、厳密に表現されたチップ製造圧縮空気要求である

1.乾燥度の要求

圧縮空気は、ガス供給システムで凝縮水が発生しないように、極めて低い湿度レベルを維持しなければならない。 高すぎる湿度は設備の腐食を招くだけでなく、製品の品質と安定性にも影響する可能性がある。 通常、チップ製造は圧縮空気の露点温度が環境温度よりはるかに低く、一部のハイエンドアプリケーションは絶対乾燥を確保するために露点が-70 ℃ 以下であることを要求する。

2.清浄度の要求

チップ製造現場の空気清浄度は極めて高い基準に達しなければならず、特にクリーンルーム区域では、その清浄度レベルはISO 1級以上に達する可能性があるつまり、1立方メートルあたりの空気中の粒子状物質の数は極めて低いレベル (例えば、0.5ミクロン以上の粒子が100個以下) に厳しく抑えられている。 この目標を達成するためには、効率的なフィルターと除油設備を採用し、定期的に清潔と消毒を行い、専門家がメンテナンスと監視を行う必要がある圧縮空気中に油、塵埃、微生物、その他の汚染物がないことを確保する。

3. 油分制御

圧縮空気中の油分はチップ製造に深刻な脅威となり、微量の油でもウエハを汚染し、製品の欠陥を引き起こす可能性がある。 そのため、チップ製造には圧縮空気中の含油量が極めて低く、通常は総含油量が1ppm未満、さらには一部のハイエンドアプリケーションでは0級無油の圧縮空気を使用することが要求される油分汚染のリスクを徹底的に取り除く。

4.圧力安定性

ウエハ製造設備は圧縮空気の圧力安定性に厳しい要求がある。 圧力変動は設備の正常な運行とプロセスパラメータの正確な制御に影響し、製品の品質と整合性に影響する可能性がある。 そのため、圧縮空気供給システムの圧力を安定させ、一定の給気圧力を維持するために適切な圧力調節と緩衝設備を備えなければならない。

5.ガス純度

上記の要求に加えて、チップ製造は圧縮空気の純度にも注目している。 特定のプロセスでは、他のガス成分が製品を汚染したり、製品の性能に影響を与えたりしないように、窒素、酸素などの高純度ガスが必要になる場合があります。 そのため、圧縮空気中の各ガス成分の純度も厳格に規定されている。

以上のように、チップ製造の圧縮空気に対する要求は乾燥度、清浄度、油分制御、圧力安定性とガス純度など多方面に現れている。 これらの要求を満たすためには、先進的な技術措置と設備配置を採用して、生産中の空気の品質が極めて高い基準に達して、製品の品質と歩留まりを保障する必要がある。