半導体業界用の圧縮空気の要求は何か

半導体業界の圧縮空気に対する要求は非常に厳しい。圧縮空気は製品と直接接触し、その品質と純度は製品の品質と性能に直接影響する。 半導体業界の圧縮空気に対する主な要求は以下の通りである

粒子制御: 半導体製品の精度が非常に高いため、微小な粒子汚染は製品の故障を招く可能性がある。 そのため、圧縮空気中の粒子状物質濃度が非常に低いことが要求され、通常、粒子状物質濃度が100個/立方フィート未満 (またはそれ以下) で、生産環境の清浄度と製品の品質を確保することが要求される。

湿度制御: 湿度が半導体製品に与える影響も大きく、高すぎる湿度は製品の湿気、腐食などの問題を引き起こす可能性がある。 そのため、半導体圧縮空気中の湿度は厳格に制御されなければならず、通常、製品が水分の影響を受けないように相対湿度が50% 未満であることが要求される。

油分制御: 圧縮空気中の油分は半導体製品に汚染をもたらし、製品の品質と性能に影響を与える。 そのため、圧縮空気中の含油量は非常に低く、通常は総含油量が1ppm未満、さらにはそれ以下であることが要求される。 いくつかのハイエンドの応用場面、例えばチップ製造など、さらには0級無油の圧縮空気を使用することが要求されている。

ガス純度: 粒子状物質、湿度と油のほか、半導体業界は圧縮空気に一定のガス純度を要求している。 これは主に他のガス成分が製品を汚染したり、製品の性能に影響を与えたりするのを防ぐためである。 一般的に、窒素、酸素などのガスの純度は高い。

これらの要求を満たすために、半導体業界は通常、多段ろ過、乾燥、浄化などの処理技術を採用して、圧縮空気の品質と純度が生産要求に達することを確保する。 同時に、圧縮空気の生産、輸送と使用過程を厳格に監視し、管理して、圧縮空気の安定性と信頼性を確保する。