웨이퍼 압축 공기 요구 사항

웨이퍼는 압축 공기에 대한 엄격한 요구 사항이 있습니다. 작은 오일, 습기 또는 고체 입자는 웨이퍼 생산 공정에 상당한 영향을 미치고 제품 품질을 저하시키고 장비 손상을 일으킬 수 있기 때문입니다. 다음은 팹의 압축 공기에 대한 주요 요구 사항 중 일부입니다.

오일 프리: 소량의 오일조차도 웨이퍼 표면을 오염시키고 회로 패턴의 정확성과 무결성에 영향을 줄 수 있기 때문에 웨이퍼 생산에는 완전히 오일이없는 압축 공기가 필요합니다.

건조: 압축 공기는 배관 또는 장비의 수분 응축을 방지하기에 충분히 건조해야합니다. 수분은 부식을 일으킬 수 있고, 장비의 작동 정확도 및 수명에 영향을 미치며, 또한 웨이퍼를 오염시킬 수 있다.

청소: 압축 공기에는 먼지, 금속 칩 등과 같은 고체 입자가 없어야합니다. 이 입자는 웨이퍼 표면에 흠집이나 오염을 일으켜 제품 품질에 심각한 영향을 줄 수 있습니다.

안정성: 압축 공기의 압력과 흐름은 생산 공정의 연속성과 일관성을 보장하기 위해 안정적이어야합니다.

상하이 Granklin 그룹 제품 설명:

물 윤활 공기 압축기: 물 윤활 공기 압축기는 일부 응용 분야에서 잘 작동하지만 물 윤활을 사용하더라도 압축 공기가 절대적으로 기름이 없는지 확인해야하기 때문에 fabs에게는 최상의 선택이 아닐 수 있습니다.

오일이없는 공기 압축기: Shanghai Grankering Group의 오일이없는 공기 압축기는 높은 청결의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 압축 공기가 순수하고 기름이 없는지 확인하기 위해 특수 밀봉 재료 및 구조를 채택합니다. 이 공기 압축기는 고품질 압축 공기가 필요한 fabs 및 기타 경우에 매우 적합합니다.

주파수 변환 공기 압축기: 지능형 주파수 변환 기술을 통해 상하이 Granklin 그룹의 주파수 변환 공기 압축기는 에너지 효율 최적화 및 안정적인 작동을 달성하기 위해 팹의 실제 요구에 따라 출력 압력과 흐름을 동적으로 조정할 수 있습니다.

스크류 공기 압축기: 스크류 공기 압축기는 효율적이고 신뢰할 수있는 성능으로 유명합니다. 상하이 Granklin 그룹의 스크류 공기 압축기는 장기적인 안정적인 작동과 쉬운 유지 보수를 보장하기 위해 고급 스크류 설계 및 제조 기술을 채택합니다. 건조한 압축 공기가 필요한 응용 프로그램의 경우 차가운 건조기 또는 흡입 건조기와 함께 사용할 수 있습니다.

질문: Shanghai Granklin Group은 오일이없는 공기 압축기가 팹의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 어떻게 보장합니까?

답변: Shanghai Grankering Group은 오일이없는 공기 압축기가 다음 조치를 통해 팹의 엄격한 요구 사항을 충족하도록합니다.

특수 오일 프리 설계 및 재료는 소스에서 오일 오염 가능성을 제거하는 데 사용됩니다.

각 오일 프리 공기 압축기가 하이 퀄리티 요구 사항을 충족하는지 확인하기 위해 엄격한 생산 공정 관리 및 품질 테스트.

전문 애프터 서비스 및 기술 지원을 제공하고 정기적으로 장비를 점검하고 유지하여 오일 프리 상태에서 장기간 안정적인 작동을 보장합니다.

Fabs와 긴밀히 협력하여 특정 요구 사항과 표준을 이해하고 가장 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 솔루션을 조정하십시오.