블로우 성형을 위한 압축 공기 압력

블로우 성형 과정에서압축 공기 압력은 일반적으로 0.2 ~ 1.0 MPa 범위. 특정 값은 플라스틱의 유형, parison의 온도, 제품의 구조 및 공정 요구 사항에 따라 동적으로 조정해야합니다. 오일이없는 물 윤활 공기 압축기는 깨끗한 오일이없는 압축 공기를 제공하여 블로우 성형의 품질을 보장하는 핵심 장비가되었습니다. 기술적 특성과 압력 제어 논리는 다음과 같습니다.

1. 코어 기초의 압력 범위

를 위해

1. 대부분의 프로세스기존의 블로우 성형 시나리오
   건조 효율과 패턴 무결성의 균형을 위해 0.3 ~ 0.5 MPa의 압력을 사용하십시오. 예를 들어, 포지티브 포토레지스트가 개발된 후 퍼징은, 워터 마크의 발생을 피하면서, 이 압력 범위를 통해 잔류 현상액을 신속하게 제거할 필요가 있다.

2. 정밀 구조 요구
   0.1 ~ 0.2MPa 의 저압으로 홈에 대한 고압 기류 또는 종횡비가> 10 인 나노 스케일 패턴으로 인한 포토레지스트 에지 박리 또는 패턴 왜곡을 방지합니다. 예를 들어 EUV 리소그래피 공정에서 저압 질소는 미크론 크기의 입자 흡착을 감소시킬 수 있습니다.

3. 특별 프로세스 적응
   균일한 가스 흐름 커버리지를 보장하기 위해 더 높은 압력 (예를 들어, 0.6 ~ 0.8 MPa) 을 요구하거나, 건조 효율을 유지하면서 펄스 퍼징 (예를 들어, 0.5 초 시작-정지, 사이클 2 초) 을 통해 질소 소비를 20% ~ 30% 감소시킨다.

   1. 의

      2. 기름없는 물 윤활 공기 압축기

   청결 보장
   오일이없는 물 윤활 공기 압축기가 수막 윤활을 통해 오일 함량을 제거하고 출력 가스의 오일 함량이 매우 낮습니다 (≤ 0.003 mg/m & sup3;), 공기 품질에 대한 블로우 몰딩의 엄격한 요구 사항을 충족하고 오일 오염으로 인한 표면 결함 또는 성능 저하를 방지합니다.

4. 압력 안정성
   이 유형의 장비는 영구 자석 주파수 변환 기술을 사용하여 가스 수요의 변화에 맞게 실시간으로 속도를 조정합니다. 예를 들어, 압력 변동이 ± 0.02 MPa를 초과하도록 감지되면 시스템은 자동으로 대기 압축기를 시작하거나 압력 감소 밸브의 개방을 조정하여 블로우 성형 압력의 안정성을 보장합니다.

5. 에 있는 장비의 부분다단계 압력 그라디언트 디자인
   주 노즐 (0.4 ~ 0.5 MPa) 과 보조 환형 미세 기공 (0.2 ~ 0.3 MPa) 의 조합을 채택하여 압력 차이를 통해 층류 경계층을 형성하고 와전류 간섭을 줄이면서 액체 필름의 박리를 가속화하고 건조 균일 성을 30% 이상 향상시킵니다.

   1. 3. 에 대한 주요 고려 사항

   플라스틱 특성 및 parison 상태
   낮은 용융 점도, 플라스틱의 쉬운 변형 (예: LDPE) 은 더 낮은 압력 (0.2 ~ 0.4 MPa) 을 필요로하고 플라스틱 (예: HDPE) 또는 두꺼운 벽 파리 슨의 높은 용융 점도는 더 높은 압력 (0.4 ~ 0.7 MPa) 을 필요로합니다.

6. 제품 구조 복잡성
   대형 제품 (예: G10.5 유리 기판) 은 공기 흐름 적용 범위의 균일 성을 보장하기 위해 더 높은 압력 (0.4 ~ 0.5 MPa) 이 필요합니다. 3 차원 구조 (예: TSV 관통 구멍) 는 기류 소용돌이로 인한 고르지 않은 건조를 피하기 위해 저압 펄스 퍼징이 필요합니다.

7. 청결 및 입자 제어
   압축 공기의 순도는 불순물이 포토레지스트를 오염시키는 것을 방지하기 위해 ≥ 99.999 (5N 등급) 이어야 한다. 오일이없는 물 윤활 공기 압축기는 폐쇄 된 물 순환 시스템을 통해 외부 입자를 효과적으로 격리하고 터미널 필터 (예: 0.01μm 필터 요소) 와 협력하여 퍼지 가스의 청결도가 Class 1 의 요구 사항을 충족하는지 확인합니다. 클린 룸.