반도체 산업의 압축 공기 지표는 무엇입니까?

반도체 산업에서 압축 공기 (CDA, 깨끗하고 건조한 공기) 의 지표는 매우 높은 순도, 안정성 및 특정 공정의 요구 사항을 충족해야합니다. 다음은 주요 지표 및 분석입니다.

1. 핵심 청결 지표

1. 미립자 물질 제어
   • 표준 요구 사항: 압축 공기에서 미크론 (심지어 서브 마이크론) 입자의 함량은 엄격하게 제한되어야합니다. 예를 들어, 리소그래피 기계와 같은 중요한 장비는 ISO 14644-1 청결 수준 5 또는 그 이상을 달성하기 위해 압축 공기를 필요로합니다. 즉, 공기의 입방 미터당 0.1 미크론과 같거나 그보다 큰 10,000 개 이하의 입자.
   • 충격: 미립자 물질은 웨이퍼 표면을 긁거나 광학 부품을 오염시켜 단락 또는 성능 결함을 초래할 수 있습니다. 예를 들어, 3nm 공정에서 0.01 미크론 먼지가 트랜지스터를 연결하여 제품 고장을 일으킬 수 있습니다.
2. 기름 오염 없음
   • 표준 요구 사항반도체 공정은 오일에 매우 민감하며 압축 공기가 완전히 오일이 없어야합니다 (총 오일 함량은 일반적으로 0.01ppm 미만, 심지어 최대 0.00ppm 임).
   • 충격: 오일은 웨이퍼 표면에 흡착되어 칩 성능과 수율에 영향을 미치고 장비를 부식시킬 수 있습니다. 예를 들어, 전통적인 오일 함유 공기 압축기는 코팅 흘림 및 장비 막힘과 같은 문제가 발생하기 쉽습니다.
3. 낮은 수분 함량
   • 표준 요구 사항: 이슬점은 건조 장치를 통해 매우 낮은 수준에서 제어됩니다 (일반적으로 압력 이슬점은 ≤-40 ℃이어야하며 일부 장면에는 ≤-70 ℃가 필요합니다).
   • 충격: 수분은 재료의 산화, 공정 정확도의 저하 또는 장비의 부식을 유발할 수 있습니다. 예를 들어, 포토레지스트 성능은 수증기 응축에 의해 영향을 받아 리소그래피 정확도를 감소시킬 수 있다.

2. 압력 및 안정성 지표

1. 압력 범위
   • 표준 요구 사항: 압축 공기 파이프 라인의 작동 압력은 일반적으로 장비 요구 사항에 따라 0.6-1.0MPa 사이입니다. 예를 들어, 대부분의 반도체 칩 제조 공장의 설계 압력은 0.8MPa 이고, 리소그래피 기계는 압력이 0.5-0.7MPa (또는 35PSI 와 같은 특정 값, 약 0.24MPa) 에서 안정되도록 요구할 수 있다.
   • 충격: 압력 변동은 노출 헤드의 부정확 한 움직임과 같은 공압 구성 요소 및 구성 요소의 정상적인 작동에 영향을 줄 수 있습니다.
2. 기류 안정성
   • 표준 요구 사항: 압축 공기 흐름이 다른 작업 단계에서 다른 구성 요소의 가스 수요를 충족시키기 위해 안정적인지 확인해야합니다.
   • 충격: 기류 변동은 장비 진동 및 변위를 유발하여 공정 정확도에 영향을 줄 수 있습니다. 예를 들어, 리소그래피 프로세스 동안 가스 흐름의 변동은 광학 요소의 약간의 변위를 유발하고 리소그래피 패턴 정확도를 감소시킬 수 있다.

3. 미생물 및 화학 오염 물질의 지표

1. 미생물 통제
   • 표준 요구 사항: 떠 다니는 박테리아의 농도는 ≤ 5cfu/m & sup3 이어야합니다. 그리고 침전 박테리아의 농도는 미생물이 생산 환경에서 번식하고 제품을 오염시키는 것을 방지하기 위해 ≤ 1cfu/접시이어야합니다.
   • 충격: 미생물 오염은 칩 표면 결함 또는 성능 저하를 유발할 수 있습니다.
2. 화학 오염 물질 한계
   • 표준 요구 사항: 이산화탄소, 일산화탄소, 총 탄화수소 및 기타 불순물의 함량은 엄격하게 제한되며 일반적으로 ppb 수준 또는 그 이하가 필요합니다.
   • 충격화학 오염 물질은 장비를 부식시키거나 칩 성능에 영향을 줄 수 있습니다. 예를 들어, 산성 종은 웨이퍼 표면을 손상시켜 회로 고장을 초래할 수 있다.

4. 국제 및 산업 표준 참조

1. ISO 8573-1
   • 콘텐츠: 국제 표준화기구 (ISO) 에서 발행 한 압축 공기 품질 표준은 미립자 물질, 습도 및 기름과 같은 오염 물질의 수준 및 탐지 방법을 정의합니다.
   • 신청: 반도체 산업은 일반적으로 압축 공기의 품질을 보장하기 위해이 표준에서 최고 수준을 채택합니다.
2. SEMI S2/S6
   • 콘텐츠미국 반도체 장비 및 재료 국제 협회 (SEMI) 에서 발행 한 표준은 개인 안전, 환경 보호 및 장비 성능의 요구 사항을 충족하기 위해 반도체 장비가 필요합니다.
   • 신청: 반도체 공기 압축기 시스템은 장비 안전, 안정적인 성능 및 신뢰할 수있는 가스 품질을 보장하기 위해 이러한 표준을 따릅니다.
3. GB/T 2819-2011
   • 콘텐츠중국 국가 표준화국이 발행 한 압축 공기 품질 표준은 품질 지표, 테스트 방법 및 한계 값을 규정합니다.
   • 신청국내 반도체 회사는 압축 공기의 품질이 국내 사양을 충족 할 수 있도록이 표준을 참조해야합니다.