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반도체 제조를위한 압축 공기 품질 표준은 무엇입니까?

2026-06-01읽기:

반도체 공기 압축기 시스템의 주요 국제 표준은 다음과 같습니다.

ISO 8573-1-2010: 이것은 다양한 수준의 대기 질과 탐지 방법 및 한계 값을 지정하는 국제 표준화기구 (ISO) 에서 발행 한 표준입니다.

GB/T 2819-2011: 이것은 압축공기, 질소 및 불활성 가스의 품질 지표, 탐지 방법 및 한계 값을 규정하는 중국 국가 표준화 관리국에서 발행 한 표준입니다.

SEMI S2-0715: 이것은 미국 반도체 장비 및 재료 국제 협회 (SEMI) 에서 발행 한 표준으로, 개인 안전, 환경 보호 및 장비 성능의 요구 사항을 충족시키기 위해 반도체 장비가 필요합니다.

SEMI S6-0715: 이것은 또한 SEMI에서 발행 한 표준으로 반도체 장비가 전기 안전, 기계 안전 및 화재 및 폭발 방지 규정을 준수해야합니다.

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