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반도체 압축 공기 품질 표준

2026-06-01읽기:

반도체 공기 압축기 시스템은 반도체 제조 공정에 고품질의 안정적인 가스 공급을 제공 할 수있는 반도체 생산 및 연구 개발 공정에 사용되는 중요한 장비 중 하나입니다. 현재 반도체 공기 압축기 시스템의 주요 국제 표준은 다음과 같습니다.

1.SEMI S2-0715: 이것은 개인 안전, 환경 보호 및 장비 성능의 요구 사항을 충족하기 위해 반도체 장비를 요구하는 미국 반도체 장비 및 재료 국제 협회 (SEMI) 에서 발행 한 표준입니다.

SEMI S6-0715: 이것은 또한 SEMI에서 발행 한 표준으로 반도체 장비가 전기 안전, 기계 안전 및 화재 및 폭발 방지 규정을 준수해야합니다.

3.ISO 857 3-1-2010: 이것은 다양한 수준의 대기 질과 탐지 방법 및 한계 값을 지정하는 국제 표준화기구 (ISO) 에서 발행 한 표준입니다.

4.GB/ T 2819-2011: 이것은 압축 공기, 질소 및 불활성 가스의 품질 지표, 탐지 방법 및 한계 값을 규정하는 중국 국가 표준화 관리국에서 발행 한 표준입니다.

위의 표준은 반도체 공기 압축기 시스템이 준수해야하는 기본 요구 사항으로 반도체 생산 공정에서 장비의 안전성, 안정적인 성능 및 신뢰할 수있는 가스 품질을 보장 할 수 있습니다.

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