2026-06-01읽기:
칩 제조 공정에서 압축 공기의 역할은 매우 중요합니다. 칩 제조 공정에서 일부 기포가 발생하고 압축 공기가 칩을 더 얇게 만들기 위해 이러한 기포를 배출하는 것이 매우 좋으며 칩의 품질이 더 가볍습니다.
반도체 산업은 매년 계속 성장하는 거대한 글로벌 산업으로, 고순도 가스에 대한 수요도 증가하고 있음을 의미합니다.
고순도 가스를 안정적으로 공급하는 것은 반도체 제조, 특히 스마트 폰 및 자율 주행 자동차와 같은 첨단 기술에서 필수적입니다.
집적 회로를 생산하는 과정은 복잡하여 모든 단계에서 30 개 이상의 다른 가스를 필요로합니다.
가스는 반도체의 전기적 특성을 형성하는 데 필요한 화학 반응을 생성 할 수 있기 때문에 반도체 제조의 중요한 부분입니다. 그 복잡성으로 인해, 제조 공정의 각 단계에서 사용되는 가스는 반도체를 적절하게 구성하기 위해 정확하고 정확할 필요가 있다.
반도체 산업의 지속적인 발전과 발전으로 공정에 사용되는 가스도 끊임없이 진화하고 있습니다. 사용되는 일부 코어 가스는 질소, 산소, 아르곤 및 수소를 포함한다.
질소
그 가용성 및 불활성으로 인해, 질소는 반도체 제조 공정의 다양한 단계에서 사용되는 코어 가스이지만, 그 주요 용도는 퍼지 단계에 있다. 이 단계에서 질소는 각 채널 및 파이프 네트워크를 세척하여 기계 및 공구의 산소를 제거하여 공정을 오염시킬 수있는 다른 가스로부터 보호됩니다.
또한 공정 전반에 걸쳐 질소를 광범위하게 사용하기 때문에 대부분의 반도체 공장에는 현장에 질소 발생기가 장착되어 있습니다. 더 중요한 것은 하이테크 스마트 폰 및 기타 기술의 생산으로 높은 수요를 충족시키면서 비용을 낮게 유지하는 것이 필수적입니다.
질소는 도구, 공간 및 파이프를 오염시킵니다. 그것은 필수 가스이며 처음부터 끝까지 프로세스 전반에 걸쳐 사용됩니다.
산소
산소는 산화제이므로, 증착 반응을 발생시키는 것이 필수적이다. 확산 마스크와 같은 공정에서 다양한 요소에 대한 실리콘 산화물 층을 성장시키는 데 사용됩니다.
반도체 제조를 위해 산소를 사용할 때, 가스는 임의의 불순물이 디바이스의 생산 및 성능에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 초고순도이어야 한다.
에칭 공정 동안, 산소는 또한 생성된 임의의 추가적인 재료 폐기물을 제거하는데 사용된다. 또한 에칭 된 패턴을 영구적으로 만드는 데 사용할 수 있습니다.
마지막으로, 산소는 또한 생성물 품질을 변화시킬 수 있는 산화 반응을 통해 반응성 가스를 중화시키는 것을 돕는다. 따라서 질소와 마찬가지로 산소는 오염이 발생하지 않도록하는 데 도움이됩니다.
아르곤
아르곤은 주로 반도체 칩 상에 가장 작은 패턴을 만들기 위해 UV 리소그래피 레이저 내의 증착 및 에칭 공정에 사용된다.
아르곤 가스는 원하는 실리콘 웨이퍼의 제조 동안 고온 성장 동안 산소 및 질소와의 임의의 잠재적 반응으로부터 웨이퍼 상에 형성된 실리콘 결정을 보호하기 위해 사용된다.
아르곤은 또한 매우 불활성 가스이기 때문에, 금속 스퍼터 증착을 위한 비반응성 환경을 제공하는데 사용된다. 때로는 질소가 너무 반응적이어서 금속 질화물을 형성합니다.
또한 액체 아르곤은 가장 작고 깨지기 쉬운 칩을 청소하는 도구와 함께 사용됩니다.
수소
반도체 제조에서 수소의 사용은 수요 증가로 인해 증가 할 것으로 보인다. 특히 리소그래피 단계에서, 수소 가스는 화학 주석과 반응하여 수소화 주석을 생성하는 데 사용된다. 수소화 주석은 값 비싼 광학 구성 요소에 축적되는 것을 방지하기 위해 필요합니다.
이는 실리콘 및 실리콘 게르마늄의 에피택셜 증착을 위한 증착 공정에 사용되며, 또한 어닐링 공정에 의한 표면의 제조를 위해 사용된다.
수소 가스는 이미 존재하는 필름을 변형시키기 위해 새로운 산화물층을 생성하는데 사용된다. 이 과정은 고압 및 고온 환경에서 발생하며, 이는 유량, 온도 및 압력의 제어가 매우 중요하다는 것을 의미합니다.
또한, 제조 공정의 가스가 매우 독성이기 때문에, 수소는 또한 분해 제어를 돕기 위해 도핑 단계에서 사용된다. 누출을 방지하는 장치에 보관해야합니다.
디보란은 또한 도핑 공정에 사용되는 화학 물질이지만 열적으로 불안정하기 때문에 천천히 분해되므로 수소가 안정화에 도움이 필요합니다.
공기 압축기 유지 보수 오일을 교체하기위한 명확한 시간 표준이 없습니다. 일반 미네랄 윤활유의 경우 2000-3000 시간을 권장하고 반합성 윤활유 4000-6000 시간을 권장하며 완전 합성 윤활유 6000-8000 시간을 권장합니다. 윤활유의 유지 보수 및 교체는 기름뿐만 아니라
산업 생산에서 공기 압축기의 역할은 매우 중요하며 20m & sup3; 상하이 Granklin Group에서 생산 한 물 윤활 스크류 공기 압축기는 뛰어난 전력과 독특한 기술로 많은 관심을 끌었습니다. 이 공기 압축기는 20m & sup3; 변위는 채우기에 충분하다
공기 압축기 흡착 건조기는 공기 압축기와 흡착 건조 기술을 통합하는 고효율 제습 장비의 일종입니다. 작동 메커니즘 및 효율은 다음과 같이 요약 할 수 있습니다. 장비는 먼저 공기 압축기의 작동 원리를 사용하여 내부 기계 구조 (예: 나사, 피스톤 등) 를 통해 공기로 들어갑니다.
변위 또는 부피 흐름으로도 알려진 공기 압축기의 입방 수는 단위 시간당 공기 압축기에 의해 압축 된 공기의 부피를 나타냅니다. 일반적으로 분당 입방 미터 (m & sup3;/min) 또는 분당 입방 피트 (CFM) 로 표시됩니다. 이 숫자는 공기 압축기의 척도입니다.
오일 프리 공기 압축기는 고품질의 오일 프리 압축 공기를 제공 할 수 있기 때문에 많은 분야에서 널리 사용됩니다. 다음은 주요 응용 프로그램 중 일부입니다: 식품 산업: 식품 가공 및 포장에서 오일이없는 공기 압축기가 하이 퀄리티 제공하는 데 사용됩니다.
오일 프리 에어 컴프레서와 오일 제트 컴프레서의 장점 비교-상해 Granklin 그룹의 물 윤활유 프리 에어 컴프레서 제품 분석 공기 압축기 분야에서 오일 프리 에어 컴프레서 및 오일 제트 컴프레서는 두 가지 일반적인 유형입니다. 그들은 각각 독특한
음식을위한 압축 공기는 명확한 품질 기준을 가지고 있습니다. 이 표준은 식품 가공 및 생산의 위생 및 안전 요구 사항을 충족시키기 위해 압축 공기의 순도와 품질을 보장하도록 설계되었습니다. 다음은 식품에 대한 압축 공기 품질 표준의 몇 가지 주요 측면입니다.
컴프레서는 오일 프리 윤활 및 Granklin 기술적 이점의 핵심 목적을 채택합니다. 압축기는 산업 생산의 핵심 장비로서 윤활 방법은 압축 공기 및 응용 시나리오의 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. Granklin 공기 압축기는 혁신을 위해 물 윤활 단일 스크류 기술을 채택합니다.
스크류 압축기가 막 시작될 때 큰 소음은 다양한 이유로 인해 발생할 수 있습니다. 다음은 몇 가지 가능한 이유와 해결책입니다. 모터 또는 변속기 시스템 고장: 베어링 손상, 기어 마모 또는 샤프트 흔들림과 같은 모터 또는 변속기 시스템 고장 대기
영구 자석 공기 압축기 기술 및 Granklin 공기 압축기 장점 해석 공기 압축 장비 분야에서 "에너지 절약 자동차 엔진" 과 같이 높은 효율과 안정성을 갖춘 영구 자석 공기 압축기가 선호되었습니다. 산업 사용자의 선택. 기술 원칙, 도시의 다음
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