圧縮空気は半導体工場で何をしたのか?

まず大きな真実を話します

半導体工場は、表面的には「チップ作り」で、実は後ろに一人いる見えない大功労者-- 圧縮空気

チップがそんなに精密だと思うかもしれませんが、電気と光に頼っているのでしょうかいいえ。 シリコンチップから携帯電話のプロセッサーになります。真ん中にあります何百もの工程多くの部分はきれいな圧縮空気から離れられません。

このように理解できます圧縮空気がなければ、半導体工場の仕事の半分はできない。

圧縮空気は半導体工場で具体的にどんな仕事をしたのですか

1.パージと清潔 ― チップに「風呂」を与える

チップの製造過程において、シリコンチップの表面に一粒のほこりがついても、チップ全体が廃棄される可能性があります。 一歩の工程を終えるたびに、圧縮空気で表面をきれいに吹きます。

これはあなたが食器を洗った後、水で流すようなものですが、半導体工場で使われているのは積層ろ過された圧縮空気水道水よりもきれいで、目に見えない粒子が吹き飛ばされます。

2.エア駆動工具 ― ねじをねじったり、物を運んだりする

生産ラインには大量の気動レンチ、気動治具、気動バルブがあります。

例えば、チップをケースにパッケージするときは、正確に位置決め、クランプ、緩めが必要で、これらの動作は速くて軽くて、電気駆動でオーバーシュートしやすい、圧縮空気で駆動すればちょうどいい --。力道は柔らかく、反応が速く、デリケートなものを壊さない。

3.気流制御 ― ガスの「行列」を助ける

半導体製造には「薄膜堆積」という重要なステップがあり、シリコンウエハの上に材料を敷くことである。 このプロセスは、様々なガスをシリコンウエハの表面に正確に送る必要がある。

圧縮空気のここでの役割は交通警察-- プロセスガスの流量を制御し、方向を切り替え、安定を維持し、各層の材料が均一に敷かれ、厚さが一致していることを保証します。

4. 冷却と温調 ― 設備を「冷やす」

エッチング、リソグラフィなどの工程で大量の熱が発生し、設備とワークはすぐに温度を下げる必要がある。 圧縮空気が吹いて、熱のある人に冷たいタオルを塗って、温度を安定させるようなものです。

温度が変動すると、チップの線路が歪んでしまう可能性があるので、この「冷たい風を吹く」仕事は、見た目が簡単で、実は特に重要なのだ。

5. 真空システムの「相棒」

多くの半導体設備は真空引きしてから空気を入れ、繰り返し循環する必要がある。 圧縮空気はここでキャビティ内の排気ガスを急速に流す責任があり、次の真空の準備をする。

床を掃く前に地面のものを横に吹いて、掃除してから吹いて戻ってきて、協力して、効率が高い。

なぜ半導体工場は空気に「潔癖」なのか?

チップ上の線路のため、狭いのは数本の髪の毛の1万分の1だけです。

空気の中にオイルミスト、ミスト、ほこりが少し混ざっていると、チップに落ちると道路に大きな石を置くことになります。電気回路全体が切れたりショートしたりする可能性があります。

だから、半導体工場用の圧縮空気は、次のことが求められています

• 油があってはいけない-- オイルミストはチップ表面を汚染します。
• 水があってはいけない-水滴は酸化とショートの原因となります
• 粒子があってはならない-- 零点数ミクロンのものでもだめです
• 異臭があってはいけない-- 一部の化学成分は材料を腐食します。

簡単に言えばこの空気は手術室よりきれいだ。

水潤滑コンプレッサーはこの中でどのように役に立ちますか?

伝統的なコンプレッサーは油で潤滑しています。密封がどんなによくできても、微量の油の蒸気が空気に混入します。 台所で料理を炒めているように、油煙が小さくても出てくる。

そして水潤滑コンプレッサー全く違う -- 油の代わりに水で潤滑と密封をし、圧縮された空気の中生まれつき油がない。

具体的には半導体工場まで

• ガス発生剤自体がきれいです: 水は蒸発してオイルミストにならないので、機械から出た空気は、油の含有量はほとんど無視でき、後ろのフィルター設備を節約した。
• 油劣化の心配がありません: 伝統的なエアコンプレッサは長い間油を使うと変質し、粘り気が出て、汚染リスクがますます大きくなっている。 水にはこの問題はなく、どのくらいの時間でガス発生剤の品質が安定しているか。
• メンテナンスが簡単: 油を交換する必要がなく、廃油を処理する必要がなく、半導体工場のような24時間の環境に対して、心配事が少ないのは保障が多いことだ。
• 乾燥システムに合わせた方が楽: 出てくる空気自体の水分量が制御できるので、乾燥機を接続すると半導体の要求露点に直接達することができ、ガス路全体がより簡潔になります。

例えば、伝統的な油潤滑コンプレッサーはレンジフードで料理を炒めているようで、多少油が出てくる水潤滑コンプレッサーは蒸し器で物を蒸すようなもので、出てくるのはきれいな蒸気である源から油の問題を解決した。

無油水潤滑コンプレッサーはどんな役割ですか

実は、油水のない潤滑と水潤滑の考え方は同じで、すべてそうです圧縮空気に油が当たらないようにする。

ただ、無油水潤滑は特殊な構造設計で、ロータ間に油を必要とせずに回転できるようにし、精密なギャップ制御と材料配合に頼っている。

半導体工場では、無油水潤滑コンプレッサーも提供できる超クリーンな圧縮空気また、水が関与していないため、後の乾燥負担が軽く、水分量にも特に敏感な工程に適している。

二つの技術が行き詰まっています。核心的な目的は一つです。

圧縮空気の中には、油も余分な水もなく、きれいにチップに仕えている。

一言でまとめる

半導体工場では、圧縮空気は脇役ではなく、電気、光と並ぶ三つの基礎の一つである。パージ、駆動、制御流、冷却は、どこでも必要です。 チップのような「変態級」のクリーンな要求を満たすには、水潤滑コンプレッサーと油なし潤滑コンプレッサーが最適な選択となります。源から油と汚れたものをドアの外に止めて、一本一本の空気をチップの精度に合わせる。