ブロー成形の圧縮空気圧

ブロー成形プロセスでは圧縮空気圧力の典型的な範囲は0.2 ~ 1.0 MPaである具体的な数値はプラスチックの種類、型の温度、製品の構造及びプロセスの需要によって動的に調整する必要があります。 無油水潤滑コンプレッサーは清潔で無油な圧縮空気を提供することで、ブロー品質を保障する重要な設備となり、その技術特性と圧力制御ロジックは以下の通りである

一、圧力範囲の核心的根拠

1. 通常のブローシーン
   多くのプロセスは0.3 ~ 0.5 MPaの圧力を採用し、乾燥効率とパターンの完全性をバランスさせた。 例えば、ポジティブなレジストが現像した後にパージする場合、この圧力範囲で残留現像液を速やかに除去し、同時に水痕の発生を避ける必要がある。

2. 精密構造の需要
   深さ幅比>10の溝やナノメートルの図形に対して、0.1 ~ 0.2 MPaの低圧を採用し、高圧気流によるレジストの縁の剥がれや模様の歪みを防ぐ必要がある。 例えば、EUVリソグラフィプロセスでは、低圧窒素ガスはミクロンオーダーの粒子吸着を減らすことができる。

3. 特殊プロセス適応
   一部のシーンでは、より高い圧力 (例えば、0.6 ~ 0.8 MPa) で気流の被覆の均一性を確保したり、パルス式パージ (例えば、0.5秒発停、周期2秒) で窒素ガス消費量を20 ~ 30% 削減したりする必要がある乾燥効率を同時に保つ。

二、無油水潤滑エアコンプレッサの適合性

1. 清浄度保障
   無油水潤滑コンプレッサーは水膜潤滑で油分を除去し、出力ガスの含油量が極めて低い (≦ 0.003mg/m & sup3;) ブロー成形の空気品質に対する厳しい要求を満たし油汚染による製品の表面欠陥や性能低下を避ける。

2. 圧力安定性
   この種類の設備は永久磁石インバータ技術を採用し、リアルタイムで回転速度を調整してガス需要の変化に合わせる。 例えば、圧力変動が ± 0.02mpaを超えたことが検出された場合、システムは自動的に予備圧縮機を起動したり、減圧弁の開度を調節したりして、ブロー圧力の安定を確保する。

3. 多段圧力勾配設計
   一部の設備は主噴口 (0.4 ~ 0.5 MPa) と補助環状細孔(0.2 ~ 0.3 MPa) を組み合わせて、圧力差で層流境界層を形成し、液膜の剥離を加速しながら渦電流干渉を低減する乾燥の均一性を30% 以上に高める。

三、重要な考慮要因

1. プラスチック特性とブランク状態
   溶融粘度が低く、変形しやすいプラスチック (LDPEなど) は低い圧力 (0.2 ~ 0.4 MPa) が必要である溶融粘度の高いプラスチック (HDPEなど) や厚肉型ブランクは高い圧力 (0.4 ~ 0.7mpa) が必要である。

2. 製品構造の複雑さ
   大容積製品 (例えばg 10.5ガラス基板) は、より高い圧力 (0.4 ~ 0.5 MPa) で気流被覆の均一性を確保する必要がある三次元構造 (例えばTSV貫通孔) は低圧パルス式パージが必要である気流渦電流による乾燥不均一を避ける。

3. 清浄度と粒子制御
   圧縮空気の純度は99.999%(5N級) 以上で、不純物がレジストを汚染しないようにする。 無油水潤滑コンプレッサーは密閉型水循環システムを通じて、外部粒子を効果的に隔離し、終端フィルタ (例えば0.01μmエレメント) と協力して、パージガスの清浄度がClass 1クリーンルームの要求を満たすことを確保する。