彫刻機の圧縮空気は何に使うのか

ステッパ中の圧縮空気は主に精密空気圧部品を駆動し、設備の安定性を維持し、清潔な環境を保障し、温度調節に参与することは、ナノレベルの操作精度とプロセスの安定性を確保する重要な要素である。 具体的な役割は次のとおりです

駆動精密エア部品

• ウエハー台浮上エアマット: ステッパ中のウエハ台は0.1ミクロンの精度の懸濁位置決めを実現する必要があり、これは空気軸受技術に依存する。 圧縮空気は空気軸受を通して極めて薄いガス膜を形成し、ウエハ台と機械構造を完全に隔離し、直接接触による摩擦や振動を避ける。 この無接触懸濁方式はウエハの露光過程における絶対的な安定を確保し、ナノメートルの精度のリソグラフィ操作に基礎を提供した。
• レンズ温度調整装置: ステッパの光学系は温度変化に極めて敏感で、温度差は0.01 ℃ 以内に抑えなければならない。 圧縮空気は一定の気流でレンズの恒温を維持し、温度変動による光学素子の熱変形を防止し、露出システムの正確性を保障する。
• ロボットアーム位置決め機構: ステッパ内部の自動化ロボットアームはウエハ、キャリア及びその他の材料の迅速なグリップ、運搬と正確な位置決めに用いられる。 圧縮空気は動力源として、シリンダとエアモータを駆動してアームの迅速で正確な動作を実現し、各部品のナノレベルでの位置決めを正確に確保する。

設備の安定性を維持する

• 気圧安定性: 彫刻機は圧縮空気の圧力安定性に対する要求が極めて高く、一般的に圧力が0.5-0.7MPaの間で、変動範囲はごく狭い範囲に抑えなければならない。 安定した気圧はステッパの精度を維持する上で非常に重要で、気圧の変動は空気スプリングの振動防止器などの部品の性能に影響を与え、ステッパの光学系に微小な変位や振動が発生し、露出精度に影響を与えます。
• 流量安定性: ステッパの異なる部品は、異なる作業段階で圧縮空気の流量需要が異なる。 圧縮空気の流量が安定していることを確保し、彫刻機の各部品のガス需要を満たすことができ、リソグラフィ技術の連続性と安定性を保証する。

清潔な環境を保障する

• 清潔保障: 三級ろ過された圧縮空気は、彫刻機の内部に保護カーテンを形成し、塵埃などの汚染物を遮断する。 ウエハの製造過程で、表面は微小な粒子や不純物を吸着しやすく、清潔な圧縮空気を使用してパージ洗浄を行うことで、ウエハ表面の不純物を効果的に除去することができると同時に、気流が大きすぎることによるウエハへの損傷を避けることができるウエハの清浄度と製品品質を確保する。

温度調節に参加する

• レンズ温度制御: 前述のように、圧縮空気は一定の気流でレンズの恒温を維持し、温度変動による光学素子の熱変形を防止します。 これは露出システムの正確性を保障するために重要で、光学素子の微小な変形はフォトリソグラフィの転写精度に直接影響する。