半導体はなぜオイルフリー圧縮ガスが必要ですか?

2026-04-26読書量：

半導体がオイルレス圧縮ガスを必要とする主な原因は、どの油脂もチップに汚染を与え、製品の性能と信頼性に影響を与える可能性がある。半導体チップの製造過程で、生産環境の清浄度を確保し、油汚れなどの汚染物によるチップへの損害を避けるために、オイルフリーの圧縮空気を使用する必要がある。そのため、半導体業界に絶え間なく、清潔で無油な圧縮空気を提供することが重要である [1]。

また、半導体生産では、圧縮空気が大量に使用されている。例えば、はんだを回路基板上のミクロ穴に埋め込む (押し出す) 過程で、圧縮空気に油汚れがあるとコストのかかる半導体素子に損害を与える。そのため、その生産過程には高度な専門技術と厳しい清潔な環境が必要で、レベル0の無油の圧縮空気を使用することは、生産環境を閉鎖する高純度保証だけでなく、生産力の向上を促進する汚染による生産損失を減らす [4]。