チップ加工の圧縮空気に対する要求

チップ加工は圧縮空気に対して極めて厳しい要求を持っています。主に以下のいくつかの方面に現れています。

乾燥度:

圧縮空気は、ガス供給システムで凝縮水が発生しないように、非常に乾燥していなければならない。 水分は設備の腐食、製品の品質の低下、生産過程の問題を引き起こす可能性がある。 そのため、圧縮空気の乾燥度を確保することがチップ加工にとって重要である。

清浄度:

圧縮空気には油、塵埃、微生物、その他の汚染物は許されない。 これらの不純物はウエハを汚染し、製品の欠陥を引き起こす可能性があります。 チップ加工工場内の空気清浄度は通常一定の基準に達し、例えば10万級以上、さらに高い。 チップを生産する重要な区域、例えばクリーンルームでは、空気清浄度の基準は100級に達する可能性がある。つまり、1立方メートルあたりの空気中に0.5ミクロン以上の粒子が100個を超えてはならない。

このような清浄度の要求を満たすためには、効率的なフィルタと除油設備を使用して空気の清浄を確保する必要がある。 同時に、クリーンルームは定期的に清掃と消毒を行い、専門家がメンテナンスと監視を行う必要がある。

圧力安定性:

ウエハ製造設備は圧縮空気の圧力安定性に厳しい要求がある。 圧力変動は設備の正常な運行とプロセスの安定性に影響する可能性がある。 そのため、圧縮空気供給システムの圧力が安定していることを確保し、適切な圧力調節と緩衝設備を備えている必要がある。

以上のように、チップ加工の圧縮空気に対する要求は主に乾燥度、清浄度と圧力安定性の三つの方面に現れている。 これらの要求を満たすためには、相応の技術措置と設備配置を採用して、チップ加工中の空気の品質が基準に達して、製品の品質と歩留まりを保証する必要がある。