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반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 압축 공기의 순도는 무엇입니까?

2026-06-05읽기:

반도체 제조 분야에서 압축 공기의 청결은 칩 생산의 품질과 장비 안정성에 직접적인 영향을 미친다. 업계는 일반적으로 정밀 공정에서 작은 불순물의 간섭을 피하기 위해 매우 높은 순도 표준을 충족하기 위해 압축 공기를 필요로합니다.

Granklin 물 윤활 단일 스크류 공기 압축기는 물리적 압축을 통해 공기를 출력합니다. 그것의 핵심 이점은 기름없는 설계에 있습니다-순수한 물은 전통적인 윤활유를 대체하는 데 사용되며, 오일 잔류 물은 소스에서 제거되며, "제로 오일 오염" 에 대한 반도체 기술의 기본 요구 사항이 충족됩니다. 그러나, 원래의 압축 공기는 공기 중에 자연적으로 응축된 수분 및 작은 입자를 여전히 함유할 수 있으며, 이는 후처리 장비에 의해 추가로 정제될 필요가 있다.

반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 압축 공기 순도 표준은 일반적으로 다음과 같습니다. 이슬점 온도는-40 ℃ 이하로 제어되어야하며 (깊은 건조를 보장하기 위해), 입자 함량은 ISO 8573-1 표준 수준 1 이상에 도달해야합니다 (입자 크기 ≤ 0.1μm 의 입자 농도는 매우 낮습니다), 오일 함량은 엄격하게 0 이어야합니다. Granklin 공기 압축기의 오일 프리 공기 출력은 후 처리 장비에 깨끗한 기초를 제공 할 수 있습니다. 냉간 건조기, 흡입 건조기 및 정밀 필터를 설치함으로써 잔류 수분 및 미립자 물질을 효과적으로 제거하여 최종 가스 소비가 반도체 기술의 엄격한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

이 계획의 장점은 다음과 같습니다. Granklin 공기 압축기의 오일이없는 특성은 건조 장비 및 여과 시스템에 대한 오일 오염의 오염을 피하고 후 처리 구성 요소의 수명을 연장합니다. 동시에, 안정적인 압축 공기 흐름 및 압력 특성은 후처리 장비의 효율적인 작동을 보장하고 공기 압력 변동으로 인한 불안정한 정화 효과의 위험을 줄입니다.

반도체 기업은 특정 공정의 가스 소비, 연속성 요구 사항 및 환경 습도에 따라 정화 계획을 종합적으로 평가하는 것이 좋습니다. 습도가 높거나 건조에 대한 요구 사항이 매우 높은 시나리오에서는 흡입 건조기와 다단계 여과; 환경 습도가 제어 가능하고 공정 허용 오차가 높으면 냉간 건조기와 정밀 필터의 일치도 경제적 인 선택으로 사용할 수 있습니다. Grankering 공기 압축기와 후 처리 장비의 조합은 반도체 산업에 정밀 제조 표준을 충족하는 신뢰할 수있는 가스 솔루션을 제공합니다.

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