반도체 산업 장비에 대한 요구 사항이 있습니까?

정밀 제조의 대표자 인 반도체 산업은 초순수 가스 공급, 극도의 안정성, 낮은 오염 배출 및 지능형 제어의 핵심 요구 사항을 충족해야하는 공기 압축기에 대한 매우 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 다음과 같은 전문적인 분석은 기술 성능, 시스템 통합 및 운영 및 유지 보수의 3 차원에서 수행됩니다.

1. 기술 성능 요구 사항

1. 가스 품질 관리
   • 오일 함량: 웨이퍼 표면의 오일 오염을 피하기 위해 ≤ 0.001 mg/m & sup3;(ISO 8573-1 클래스 0 표준) 에 도달해야합니다.
   • 먼지 내용: 입자가 리소그래피 패턴에 결함을 일으키는 것을 방지하기 위해 0.1μm 의 입자 크기로 여과해야합니다.
   • 습도 조절: 압력 이슬점은 진공 챔버에서 수증기의 응축을 피하기 위해 ≤-40 ℃일 것이다.
2. 압력 및 흐름 안정성
   • 압력 변동은 공압 밸브 및 조작기의 정확한 작동을 보장하기 위해 ± 0.01MPa 내에서 제어해야합니다.
   • 흐름 조절 범위는 다른 공정 모듈의 가스 수요를 충족시키기 위해 30%-100 로드를 커버해야합니다.
3. 진동 및 소음 제어
   • 장비의 진동 속도는 리소그래피 기계와 같은 정밀 장비에 마이크로 진동 간섭을 피하기 위해 ≤ 1mm/s가되어야합니다.
   • 소음은 클린 룸 환경의 요구 사항을 충족시키기 위해 ≤ 65dB(A) 이어야합니다.

2. 시스템 통합 요구 사항

1. 클린 룸 호환성
   • 장비 쉘은 입자가 떨어지는 것을 방지하기 위해 표면 거칠기 ≤ 0.8 μm의 304 스테인레스 스틸 또는 양극 처리 된 알루미늄으로 만들어야합니다.
   • 고효율 공기 필터 (HEPA) 는 ≥ 99.97% 의 효율로 0.3 μm 이상의 입자를 필터링해야합니다.
2. 배관 시스템 설계
   • 316L 스테인레스 스틸 전해 연마 파이프는 입자 접착력을 줄이기 위해 내벽 거칠기 ≤ 0.4 μm와 함께 파이프 라인에 사용되어야합니다.
   • 응축 된 물의 축적으로 인한 가스 오염을 피하기 위해 자동 배수 시스템이 필요합니다.
3. 지능형 모니터링 기능
   • 압력, 온도, 흐름 및 기타 매개 변수의 원격 모니터링을 실현하려면 사물 모듈의 인터넷을 통합해야합니다.
   • 오류 경고 기능으로 필터 막힘 및 모터 과열과 같은 숨겨진 위험을 24 시간 전에 예측할 수 있습니다.

3. 운영 및 유지 보수 요구 사항

1. 착용 부품의 생활 관리
   • 공기 필터 요소의 교체 기간은 ≥ 4000 시간이어야하며 오일 코어는 ≥ 8000 시간이어야합니다 (오일 기계없이 교체 할 필요가 없음).
   • 윤활유 교체 기간은 ≥ 10000 시간이어야합니다 (반도체 등급 합성 오일을 사용해야 함).
2. 유지 보수 편의 디자인
   • 퀵 릴리스 필터 요소를 구성해야하며 교체 시간은 ≤ 5 분이어야합니다.
   • 필터 요소 수명 및 작동 시간과 같은 키 정보를 표시하려면 시각적 유지 관리 인터페이스가 필요합니다.
3. 비상 대응 능력
   • 대기 기계 인터페이스는 듀얼 머신 핫 스탠바이 (hot stande) 를 실현하도록 구성되어야하며, 고장 스위칭 시간은 30 초 이하입니다.
   • UPS 전원 공급 장치는 정전의 경우 장비의 안전한 종료를 보장하기 위해 제공되어야한다.

일반적인 응용 프로그램 시나리오

• 웨이퍼 청소: 초순수 질소가 제공되고, 압력은 ≥ 0.6MPa 일 것이며, 유량은 ≥ 10m & sup3;/min.
• 리소그래피 기계 공기 베어링: 안정적인 압력을 가진 가스 공급원이 제공되어야하며 압력 변동은 ≤ ± 0.005MPa 여야합니다.
• 화학 증기 증착 (CVD): 고순도 아르곤이 필요하며 산소 함량은 ≤ 1ppm 입니다.

기술 가치 요약
반도체 산업 공기 압축기 통과 필요초순수 가스 처리 기술, 정밀 압력 제어 시스템, 지능형 모니터링 플랫폼그리고 달성하기위한 다른 핵심 기술깨끗하고 안정적이며 지능적인가스 공급이 보장됩니다. 그 가치는 웨이퍼 수율을 개선하고 장비 수명을 연장하는 데 반영 될뿐만 아니라 반도체 기업이 리소그래피 및 에칭과 같은 핵심 프로세스의 안정성을 보장하기 위해 신뢰할 수있는 가스 공급 시스템을 구축하여 효율적인 생산 및 품질 관리의 이중 목표를 달성 할 수 있도록 도와줍니다..