반도체 산업의 압축 공기 요구 사항은 무엇입니까?

반도체 산업은 압축 공기가 제품과 직접 접촉하고 품질과 순도가 제품의 품질과 성능에 직접적인 영향을 미치기 때문에 압축 공기에 대한 매우 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 다음은 반도체 산업의 압축 공기에 대한 주요 요구 사항입니다.

입자 제어: 반도체 제품의 높은 정밀도로 인해 작은 입자 오염으로 인해 제품 고장이 발생할 수 있습니다. 따라서 압축 공기 중 미립자 물질의 농도는 생산 환경의 청결 및 제품의 품질을 보장하기 위해 일반적으로 입방 피트 당 100 미만 (또는 그 이하) 으로 매우 낮아야합니다.

습도 조절: 습도 또한 반도체 제품에 큰 영향을 미친다. 과도한 습도는 습기 및 부식과 같은 문제를 일으킬 수 있습니다. 따라서 반도체 압축 공기의 습도를 엄격하게 제어해야하며 상대 습도는 일반적으로 제품이 습기에 영향을받지 않도록 50% 미만이어야합니다.

오일 제어: 압축 공기의 오일은 반도체 제품을 오염시키고 제품의 품질과 성능에 영향을 미칩니다. 따라서, 압축 공기 중의 오일 함량은 매우 낮을 것이 요구되며, 총 오일 함량은 일반적으로 1ppm 미만 또는 심지어 더 낮다. 칩 제조와 같은 일부 고급 응용 분야에서는 오일이없는 압축 공기를 사용해야합니다.

가스 순도: 미립자 물질, 습도 및 오일 외에도 반도체 산업은 압축 공기가 어느 정도의 가스 순도를 갖도록 요구합니다. 이는 주로 다른 가스 성분이 제품을 오염시키거나 제품의 성능에 영향을 미치는 것을 방지하기위한 것입니다. 일반적으로 질소, 산소 및 기타 가스의 순도 요구 사항은 상대적으로 높습니다.

이러한 요구 사항을 충족시키기 위해 반도체 산업은 일반적으로 다단계 여과, 건조 및 정제 공정을 사용하여 압축 공기의 품질과 순도가 생산 요구 사항을 충족하는지 확인합니다. 동시에 압축 공기의 생산, 운송 및 사용은 압축 공기의 안정성과 신뢰성을 보장하기 위해 엄격하게 모니터링되고 관리됩니다.