半導体業界でよく使われている圧縮空気の純度はどれくらいですか

半導体製造分野では、圧縮空気の清浄度はチップの生産品質と設備の安定性に直接影響する。 業界は通常、圧縮空気が極めて高い純度基準に達して、微小な不純物が精密なプロセスに干渉しないように要求している。

グランクリン水潤滑単スクリュー圧縮機は物理圧縮方式で空気を出力し、その核心的な優位性は無油化設計である ―― 純水を伝統的な潤滑油の代わりに採用し、源から油分の残留をなくすことである半導体プロセスの「ゼロ油汚れ」に対する基礎要求を満たす。 しかし、元の圧縮空気には自然に凝縮した水分や空気中の微小な粒子が含まれている可能性があり、後処理設備でさらに浄化する必要がある。

半導体業界でよく使われる圧縮空気純度基準は、露点温度を-40 ℃ 以下に抑えなければならない (深さ乾燥を確保する) 粒子状物質の含有量はISO 8573-1基準の1級以上 (粒径 ≦ 0.1m mの粒子状物質の濃度が極めて低い) に達する必要があり、油分の含有量は厳密にゼロでなければならない。 グランクリン空気圧縮機が出力したオイルフリー空気は後処理設備にクリーンな基礎を提供し、冷凍機、乾燥機及び精密フィルタをセットすることで、残留水分と粒子状物質を効果的に除去することができる最終ガスが半導体プロセスの厳しい要求を満たすことを確保する。

この方案の利点は、グランクリン圧縮機の無油特性が油汚れによる乾燥設備とろ過システムの汚染を回避し、後処理ユニットの寿命を延ばすことである同時に安定した圧縮空気流量と圧力特性は後処理設備の効率的な運転を保障し、気圧変動による浄化効果の不安定なリスクを減らす。

半導体企業は具体的な技術の使用量、連続性の要求及び環境湿度に基づいて総合的に浄化方案を評価することを提案します。乾燥機と多段フィルタの組み合わせを優先的に選択する環境湿度が制御でき、プロセスの許容度が高い場合、冷凍機と精密フィルタの組み合わせも経済的な選択とすることができる。 グランクリン空気圧縮機と後処理設備の組み合わせは、半導体業界に精密な製造基準を満たす信頼できるガスソリューションを提供できる。