半導体素子の空圧ガス品質に対する要求は何ですか?

半導体素子の空圧ガス品質に対する要求は非常に厳しく、主に以下のいくつかの方面を含む

1. 粒子状物質濃度: 半導体圧縮空気中の粒子状物質は非常に少なくなければならない。通常、粒子状物質の濃度は100個/立方フィート未満で、さらに低くて、生産環境の清浄度と製品の品質を確保する必要がある。 いくつかの高い基準の応用シーンでは、含塵要求は0.01m mに達する可能性があり、すなわち圧縮空気中の固体粒子のサイズはこの数値より小さくなければならない。

2. 湿度コントロール: 製品が湿度の影響を受けないように、半導体圧縮空気中の湿度は厳格に制御されなければならない。 通常、製品が水分の影響を受けないように、相対湿度が50% 未満であることが要求される。 また、露点温度も圧縮空気中の水分含有量を測定する重要な指標であり、露点温度は-40 ℃ から-70 ℃ の間で、空気中に過剰な水分が含まれないようにすることが一般的である。

3. 含油量: 半導体圧縮空気中の含油量は非常に低くなければならず、通常は総含油量が1ppm未満で、場合によっては0.00ppmであること、つまり基本的に圧縮空気中に油分が含まれていないことが要求される生産過程や製品に汚染を与えないようにする。

4. 微生物コントロール: 微生物の成長が製品に影響を与えるのを防ぐために、半導体圧縮空気中の微生物は制御されなければならず、通常、微生物濃度が一定の基準を下回ることが要求される。

5. 化学汚染物質管理: 半導体圧縮空気中の化学汚染物も厳格に制御され、製品の品質と生産過程の安定性を確保しなければならない。 これは通常、化学汚染物質濃度が特定の安全制限値を下回ることを意味する。

以上のように、半導体素子の空圧気品質に対する要求は多方面であり、粒子状物質濃度、湿度、含油量、微生物及び化学汚染物など多くの方面を含む。 これらの厳しい品質要件は、半導体製造プロセスの安定性と製品の品質を確保するためのものです。