半導体圧縮空気品質基準

半導体圧縮空気品質基準は主に以下の点を含む

1. 圧縮空気品質レベル: ISO 8573.1規格によると、圧縮空気中の汚染物は固体不純物、水と油の3種類に分けられる。 半導体業界は通常、高い空気品質等級を要求して、生産過程の安定性と製品の品質を確保する。 具体的には、ダストを含む要求は通常0.01m mに達し、これは圧縮空気中の固体粒子のサイズがこの数値より小さいことを意味する。

2. 含油要求: 半導体業界では、圧縮空気中の油分は厳格に制御されている。 通常、含油は0.00ppm、つまり基本的に圧縮空気に油分を含まないことが要求され、生産過程と製品に汚染を与えない。

3. 露点要求露点温度は圧縮空気中の水分含有量を測定する重要な指標である。 半導体業界は、空気中に過剰な水分が含まれないように、圧縮空気の露点に対する要求が非常に低い。 一般的に露点は-40 ℃ から-70 ℃ の間が必要で、水分が生産過程に干渉するのを防ぐのに役立つ。

4. 圧力要求: 半導体業界は圧縮空気の圧力に対しても一定の要求があります。 具体的な圧力値はプロセスや設備によって異なる可能性がありますが、一般的に、圧力は安定した範囲内に維持して、生産プロセスの順調な進行を確保しなければなりません。

以上のように、半導体圧縮空気の品質基準は総合的な多面的な考慮であり、固体不純物、水分、油分、圧力などの多方面を含む。 これらの基準は半導体の生産過程の安定性と製品の品質を確保することを目的としている。