半導体圧縮空気基準は半導体製品の品質と生産過程の安定性を保証するために制定された一連の厳格な規範である。 これらの基準は圧縮空気のいくつかの重要な指標をカバーして、粒子状物質、湿度、含油量、微生物、化学汚染物、露点などを含む。 これらの基準の詳細なまとめを以下に示します
一、粒子状物質
- 標準要件: 半導体圧縮空気中の粒子状物質は非常に少なくなければならない。通常、粒子状物質の濃度は100個/立方フィート以下で、生産環境の清浄度と製品の品質を確保する必要がある。
- 重要性: 微小な粒子汚染は半導体製品の故障を招く可能性があるため、粒子状物質制御は半導体圧縮空気基準の重要な一環である。
二、湿度
- 標準要件: 半導体圧縮空気中の湿度は厳格に制御されなければならず、通常は相対湿度が50% 未満で、製品が水分の影響を受けないようにしなければならない。 チップ製造などの一部のハイエンドアプリケーションでは、より低い湿度レベルが要求される可能性があります。
- 制御方法: 乾燥機などの設備で湿度の効果的な制御を実現し、圧縮空気が生産ニーズを満たすことを確保する。
三、含油量
- 標準要件: 半導体圧縮空気中の含油量は非常に低くなければならず、通常は総含油量が1ppm未満で、さらにいくつかのハイエンドアプリケーションでは0級無油の圧縮空気を使用することが要求される。
- 重要性: 油分は半導体製品に汚染を与え、製品の品質と性能に影響を与えるため、含油量のコントロールが重要である。
四、微生物と化学汚染物
- 標準要件: 半導体圧縮空気中の微生物と化学汚染物は制御されなければならない。通常、製品に影響を与えないように、濃度が一定の基準を下回ることが要求される。
- 制御方法: 濾過、吸着などの浄化措置によって微生物と化学汚染物の含有量を低減する。
五、露点
- 標準要件: 半導体業界では、圧縮空気の圧力露点は通常高い、例えば-70 ℃ 、-80 ℃ 、さらには低い (例えば-110 ℃ 、-120 ℃) これは具体的な応用ニーズと製品精度要求に依存する。
- 重要性: 露点が低いと、圧縮空気中の水分含有量が極めて低くなり、製品の湿気や腐食などの問題を防ぐことができる。
六、その他の要求
- ガス純度: 上記の指標に加えて、半導体業界は圧縮空気に一定のガス純度、例えば窒素、酸素などのガスの純度要求が高い他のガス成分が製品を汚染したり、製品の性能に影響を与えたりしないようにする。
- 検査とメンテナンス: 圧縮空気の品質が基準を満たしていることを確認するために、半導体製造企業は通常、圧縮空気の検出とメンテナンスを行います。 検査方式には、ガス分析計を使用して粒子、水分含有量、油分含有量などを検査することが含まれるメンテナンス方式には、定期的にフィルター、潤滑油、その他の重要なコンポーネントを交換または洗浄することが含まれます。
以上のように、半導体圧縮空気基準は一連の厳格で繊細な規範であり、半導体製品の品質と生産の安定性を確保することを目的としている。 これらの基準は圧縮空気のいくつかの重要な指標をカバーし、様々な制御方法と浄化措置を通じて圧縮空気の品質に対する厳格な管理を実現した。
